판매용 중고 PFEIFFER / BALZERS TCP 600 #293631766

제조사
PFEIFFER / BALZERS
모델
TCP 600
ID: 293631766
Turbo vacuum pump controllers.
PFEIFFER/BALZERS TCP 600은 자동차 실험실을 포함한 더 높은 압력 범위뿐만 아니라 초고진공 (UHV) 범위를 위해 설계된 고성능 터보 분자 펌프입니다. 전자 현미경 및 전자 탐사선 미세 분석 시스템, 스퍼터 증착, 전자 빔 리소그래피, 진공 증착 및 전자 빔 용접과 같은 다양한 시스템에서 UHV를 유지 할 수 있습니다. BALZERS TCP 600은 최적의 UHV 성능을 제공하는 고성능 터보 분자 펌핑 어셈블리를 갖추고 있습니다. 이 어셈블리는 로터/베인 어셈블리, 드라이브 모터, 로터 실드 및 동적 가스 베어링으로 구성됩니다. 로터/베인 (rotor/vane) 어셈블리는 다수의 로터 블레이드로 구성되며, 각각 자체 베인이 있으며, 터보 펌프 내에서 회전합니다. 구동 모터 (Drive motor) 는 공기 (Air) 가 챔버 (Chamber) 의 벽을 따라 로터 블레이드 (Rotor Blade) 에 의해 유동적으로 압축되면서 펌핑 챔버 내에 진공을 생성하는 고속 (최대 60,000 rpm) 로 로터 어셈블리를 구동합니다. 로터 쉴드 (rotor shield) 는 회전 블레이드와 베인 (vane) 어셈블리를 압력으로부터 보호하며, 터보 펌프 플랜지에 대한 이물질의 함유를 방지합니다. 로터 어셈블리 (rotor assembly) 의 색인에 맞는 동적 가스 베어링 (dynamic gas bearing) 은 로터 샤프트를 지원하며 정렬 및 작업 클리어런스를 조정할 수 있습니다. PFEIFFER TCP 600에는 다양한 기능이 포함되어 있어 많은 응용 프로그램에서 안정적으로 성능을 발휘할 수 있습니다. 이러한 기능에는 고속 입구 급지 (inlet-feed) 배플 및 터보 펌프 (turbo pump) 의 흐름 특성을 최적화하는 조정 가능한 플랜지 장착, 설치 및 유지 보수가 용이한 소형 디자인이 포함됩니다. 펌핑 액션 (pumping action) 에 의해 우회 된 분자에 대한 재순환 시스템을 통합하여 다운 스트림 압력을 줄이고 백 스트림 (backstreaming) 을 줄입니다. TCP 600은 또한 더 높은 진공을 달성하기 위해 분자 충돌 감소를 돕는 쉴드 가스 분사 시스템 (shield gas injection system) 을 특징으로합니다. 냉각계 (cooling system), 파편 필터 (debris filter), 위상각 조정기 (phase angle adjuster) 및 모터의 조절 가능한 속도 컨트롤러 (adjustable speed controller) 와 같은 다른 기능도 사용할 수 있습니다. PFEIFFER/BALZERS TCP 600은 뛰어난 UHV 성능을 유지하면서 다양한 어플리케이션에서 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 안정적인 운영과 최적의 성능의 조합으로 BALZERS TCP 600은 자동차 실험실 응용 프로그램 (automotive laboratory application) 을 포함한 다양한 응용 분야에 이상적인 선택이되었습니다. 현재 시장에서 가장 널리 사용되는 펌프 중 하나입니다.
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