판매용 중고 NRC / VARIAN 3317 #70876

NRC / VARIAN 3317
제조사
NRC / VARIAN
모델
3317
ID: 70876
High vacuum station designed for leak detection of Helium pressurized components or vessels Includes: 18" dia x 20.5" tall ss chamber with electromechanical hoist on 20" ss baseplate Pumping system consists of VARIAN M6 diffusion pump rated at 1500 l/s air, an NRC/Varian 316 LN2 baffle electropneumatic valves with sequencer and 17 CFM mechanical roughing pump A combination cold cathode discharge gauge and 2 position thermocouple gauge is also included Helium mass spectrometer is not included.
NRC/VARIAN 3317은 높은 진공을 만드는 데 사용되는 터보 분자 펌프입니다. 이 "펌프 '는 대기 의 압력 과 진공 사이 의 일정한" 가스' 분자 의 흐름 을 만들어 내는 전기 "모터 ', 난로 분자 로터 및" 스타토르' 로 이루어진 기계 장치 이다. 펌프는 최대 10-2mbar의 압력 범위에서 작동합니다. 최대 속도는 14500 rpm이며 흡입은 200 l/s입니다. NRC 3317의 측정 냉각 전력 (8.2 W) 은 클린 룸 환경을 호스팅하면서 안정적인 온도 범위를 유지하기에 적합합니다. 따라서, 반도체 제작과 같은 입자 농도가 매우 낮은 응용 분야에 종종 사용됩니다. 또한, 펌프는 추가 마찰을 제거하고 성능을 향상시키는 다이렉트 드라이브 (direct drive) 설계를 특징으로합니다. 모터는 소음 수준이 낮아 1 미터 거리에서 58dB 만 생성합니다. VARIAN 3317은 부식 내성 알루미늄 재료로 만들어져 내구성이 높고 안정적입니다. 모든 부품은 손쉬운 유지 관리 (maintenance) 및 부품 교체를 위해 설계되었으며, 호환 가능한 기어박스 (gearbox) 간에 교환할 수 있습니다. 펌프는 > 93% 의 신뢰성으로 작동하여 연간 최소 10 분 미만의 고장 시간이 발생합니다. 깨끗하고 입증 된 윤활 시스템을 위해 설계된 베어링 챔버 (bearing chamber) 가 있으며 기어 샤프트 브러시리스 (brushless) 디자인이 장착되어 있습니다. 이것 은 "펌프 '의 기대 수명 을 향상 시킨다. 터보 펌프는 전반적인 컴팩트 한 디자인을 가지고 있으며 벤치 탑 진공 응용 분야에 이상적입니다. 광 정렬, 온도 모니터링, 내장 과부하 보호 (Overload Protection) 기능을 통해 펌프의 전반적인 품질과 성능을 높일 수 있습니다. 전체적으로, 3317은 낮은 입자 수 환경에서 깨끗하고, 반복 가능한 진공 생성 및 열 안정성이 필요한 응용 프로그램에 완벽한 선택입니다. 내구성과 유지 보수가 용이한 설계를 통해 모든 애플리케이션에 대한 안정적인 선택이 가능합니다.
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