판매용 중고 EDWARDS E2M175 #9205959
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에드워즈 E2M175 (EDWARDS E2M175) 는 높은 진공 응용을 위해 설계된 cryopump이며, 깨끗하고, 안정적이며, 정확한 진공 조건이 필요한 산업 및 연구 응용에 적합한 선택입니다. 이 극저온 펌프는 무유 로터 (oil-free rotor) 디자인으로 설계되어 다양한 산업 및 실험실 환경에서 사용할 수 있습니다. E2M175 펌프 (pump) 는 극저온 펌프 (cryogenic pumping) 의 원리에 작용하는데, 이는 남은 분자가 차가운 함정의 표면에 흡착하기에 충분히 낮은 운동 에너지를 가스로 냉각시키는 것을 포함합니다. cryopump는 크류 파넬 (cryopanel) 이라고도하는 큰 냉장 알루미늄 판을 특징으로하며, 이는 액체 질소에 의해 냉각되어 로터를 극저온 (약 -260 ° C) 으로 식힌다. 이 로 말미암아 "펌프 '는 마치 자석 에 의하여 그려지는 것 처럼" 펌프' 를 챔버 '에서 "패널' 로 분자 를 그리게 된다. 이 디자인은 또한 cryopanel에 내장 된 압력 제한 밸브 (pressure-limiting valve) 를 통합하여 시스템 진공 수준을 유지하는 데 도움이됩니다. 펌프는 비교적 컴팩트하며 공칭 펌핑 속도 (NPS) 는 67m3/h입니다. 3 x 10-8mbar의 낮은 최고 압력에 도달 할 수 있습니다. 에드워즈 E2M175 (EDWARDS E2M175) 는 cryopanel의 지속적인 냉각을 보장하고 원하는 펌핑 성능을 유지하기 위해 자체 포함 순환 루프를 가지고 있습니다. 극저온 펌핑 기능 이외에도, E2M175 에는 벤투리 포라인 펌프 (venturi foreline pump) 와 포라인 (foreline) 및 황삭 필터 (roughing filter) 가 장착되어 챔버의 깨끗함을 유지하고 잠재적으로 파괴적인 가스를 제거합니다. 추가 기능은 선택적 이온 펌프 (ion-pump) 를 포함시켜 펌프를 통과하는 오염 물질 수준 (예: 탄화수소) 을 줄이는 데 도움이됩니다. EDWARDS E2M175는 설치 및 유지 보수가 용이하며, 운영 비용이 매우 저렴합니다. 비교적 진보된 극저온 펌프 (cryogenic pump) 로서, 전통적인 진공 펌프의 동력의 일부에서 달릴 수있는 매우 에너지 효율적인 기계입니다. E2M175는 깔끔하고, 일관성 있고, 신뢰할 수 있는 결과를 필요로 하는 모든 실험실 또는 산업용 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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