판매용 중고 CTI-CRYOGENICS 9600 #182714

CTI-CRYOGENICS 9600 cryopump는 진공 시스템에서 가스 분자를 제거하고 가스를 비활성시키는 데 사용되는 회전, 양성 변위 펌프입니다. 가스 포획 표면 (gas capture surface) 을 가진 회전식, 베인 (vane) 모양의 로터를 사용하여 가스 분자를 포획하고, 그 후 극저온 유체 (cryogenic fluid) 에 의해 로터의 냉각 된 표면에 동결된다. 극저온 (cryogenic) 유체는 내부 냉각 시스템 (internal cooling system) 을 통해 일정한 온도로 유지되며 팬에 의해 로터에서 제거됩니다. 로터는 샤프트에 장착되고 모터에 의해 구동됩니다. CTI-CRYOGENICS CRYOGENICS 9600 펌프는 진공이 10-10 Torr까지 몇 밀리미터에서 수 미터의 고정 가스로 처리 할 수 있습니다. 낮은 에너지 소비와 함께 큰 수집 영역은 플라즈마 물리학, 반도체 공정 시스템, 야금 시스템, 저임피던스 가스 처리 시스템 등 다양한 응용 분야에 이상적입니다 (영문). 또한 매우 신뢰할 수 있으며, 전체 부하에서 최대 500 시간 동안 계속 작동 할 수 있습니다. "펌프 '의" 로터' 는 "니켈 '합금 으로 만들어졌으며 원형 기판 과 연속 진공실 을 자르는 일련의" 베인' 세그먼트 '로 구성 되어 있다. "로터 '의" 베인' 세그먼트 '는 회전 하여 독립적으로 움직 이는 능력 을 가지고 있어서 인상적 인 양 의 "가스' 분자 를 신속 히 포착 할 수 있다. 회전자가 회전하면 극저온 유체 (cryogenic fluid) 의 재순환이 회전자의 포착 표면을 냉각시켜, 포착 된 분자를 제자리에서 효과적으로 얼립니다. 9600 펌프는 회전자에서 가스 분자를 건조하고 제거하기 위해 고효율 팬 (fan-efficiency fan) 위에 있습니다. 팬은 속도 범위 0 ~ 100% 로 조정이 가능하여 작동 주파수가 높고, 시스템 작동이 유연해집니다. 이 팬은 모터로 구동되며 모터 속도 및 토크의 정확한 조정을 위해 조절 가능한 2 세대 전원 공급 장치 (Adjustable, 2 세대 Power Supply) 에 연결됩니다. CRYOGENICS 9600 펌프는 내장 진공 게이지로 구성되어 자체 성능을 모니터링 할 수 있습니다. 이러 한 형태 의 "펌프 '의 가장 중요 한 특징 중 하나 는" 펌프' 의 성능 이 저하 되고 그 에 따라 반응 하는지를 신속 히 탐지 할 수 있기 때문 이다. 진공 게이지는 또한 cryopump의 성능을 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다. CTI-CRYOGENICS 9600의 탁월한 성능은 품질 개발, 하이엔드 구성 요소 및 광범위한 테스트의 지원을 받습니다. 즉, 펌프가 최적의 서비스와 성능을 제공하는 동시에, 에너지 절감 효과와 비용 효율성을 극대화할 수 있습니다.