판매용 중고 CANON / ANELVA P-875CA #9105082

CANON / ANELVA P-875CA
제조사
CANON / ANELVA
모델
P-875CA
ID: 9105082
Cryo pump.
CANON/ANELVA P-875CA는 플라즈마 에칭 공정을 위해 설계된 고성능, 광범위한 펌핑 장비입니다. 이 다목적 시스템은 까다로운 플라즈마 환경을 위한 탁월한 펌핑 속도와 뛰어난 안정성을 제공합니다. 소형, 높은 유속, 낮은 유지 보수, 집단 이온 펌프이며, 특히 에칭 공정을 위해 설계되었습니다. 캐논 P-875CA (CANON P-875CA) 는 펌핑 속도가 우수하고 복구 시간이 짧기 때문에 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 5 단계 디자인은 0.2 Torr의 저압 차이로 초당 최대 875 리터의 높은 펌핑 속도를 허용합니다. 이를 통해 에칭 (etching) 프로세스를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있으며, 애플리케이션의 구체적인 요구를 고려합니다. 이 장치에는 진공 게이지 컨트롤러 (Vacuum Gauge Controller) 가 장착되어 있어 높은 정확성과 유연성을 제공하며, 시스템의 모든 전원 요동을 감지하고 사용자에게 알릴 수 있는 이중 주파수 전원 불안정 탐지기 (Dual Frequency Power Instability Detector) 를 제공합니다. 또한이 도구에는 높은 펌핑 속도, 낮은 진동 및 높은 생존성을 제공하는 고품질 터보 분자 사이드 펌프 (Turbomolecular Side Pump) 가 있습니다. 우수한 신뢰성을 보장하기 위해 ANELVA P-875CA는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 및 개별 O 링 (O-ring) 물개로 만든 1 피스 케이싱에 내장 된 모든 필수 구성 요소로 설계되었습니다. 이는 외부 오염에 노출되지 않으며, 자산의 내부 구성 요소를 손상시킬 위험을 방지합니다. 전반적으로 P-875CA는 탁월한 성능과 신뢰성을 제공하는 뛰어난 모델입니다. Vacuum Gauge Controller, Dual Frequency Power Instability Detector 및 Turbo Molecular Side Pump와 같은 다양한 응용 프로그램과 기능으로 인해 에칭 프로세스에 적합합니다. 원피스 케이싱 설계는 장비의 장기적인 안정성과 뛰어난 성능을 보장합니다.
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