판매용 중고 CANON / ANELVA P-875CA #293769101

제조사
CANON / ANELVA
모델
P-875CA
ID: 293769101
Cryo compressors.
CANON/ANELVA P-875CA는 반도체 제조, 연구 실험실 및 기타 고급 산업 환경에서 초고 진공 (UHV) 응용을 위해 설계된 고효율적이고 신뢰할 수있는 터보 분자 펌프입니다. 이 펌프는 박막 증착, 플라즈마 에칭 (plasma etching), 이온 임플란테이션 (ion implantation), 표면 분석 (surface analysis) 등 다양한 프로세스에 대해 깨끗하고 통제된 진공 환경을 만들고 유지하는 데 중요한 요소입니다. CANON P-875CA는 작고 가벼운 디자인으로, 공간이 제한된 설치에 적합합니다. 작은 크기에도 불구하고, 이 펌프는 질소 가스에 대해 초당 최대 750 리터 (l/s) 의 펌핑 속도로 뛰어난 펌핑 성능을 제공합니다. 높은 "펌프 '속도 는" 챔버' 의 신속 한 대피 와 오염 물질 의 효율적 인 제거 를 보장 해 주며, 그 결과 "사이클 '의 속도 와 공정 의 신뢰성 이 향상 된다. ANELVA P-875CA (ANELVA P-875CA) 의 주요 특징 중 하나는 고급 로터 설계로, 강력한 펌핑 동작을 생성하기 위해 고속 회전하는 정밀 설계 블레이드로 구성됩니다. 로터는 오염을 예방하고 장기적인 신뢰성을 보장하기 위해 진공 밀봉 챔버 내에 수용됩니다. 그 에 더하여, "펌프 '는 마찰 이 없는 수술 을 하고 윤활유 의 필요성 을 제거 하고, 유지 관리 요건 을 감소 시키고," 펌프' 의 수명 을 연장 시키는 자기 "베어링 '을 갖추고 있다. P-875CA (P-875CA) 에는 펌프 작동을 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있는 내장 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 컨트롤러에는 가변 속도 조정, 자동 로터 밸런싱 (automatic rotor balancing), 원격 통신 기능 등의 기능이 포함되어 있어 외부 시스템 및 프로세스 도구와 원활하게 통합할 수 있습니다. 또한 "펌프 '는 융통성 있는" 마운팅' 옵션 을 제공 하며, 여러 가지 "시스템 '설계 를 수용 할 수 있도록 어느 방향 으로든 설치 할 수 있다. 고도의 펌핑 속도와 컴팩트 한 디자인 외에도, CANON/ANELVA P-875CA는 낮은 전력 소비량과 최소 진동 수준을 자랑하며, 진공 응용에 에너지 효율적이고 친환경적인 선택입니다. "펌프 '의 효율적 인 설계 는 운영 비용 을 감소 시키고 장기적 으로 사용 하는 동안 의 일관성 있는 성능 을 보장 해 준다. CANON P-875CA는 1 x 10 ^ -10 mbar 이하의 기본 압력으로 UHV 환경의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 초고진공 (ultra-high vacuum) 수준은 반도체 및 연구 응용에서 오염없는 프로세스와 고품질의 박막 코팅을 달성하는 데 필수적입니다. UHV 작동의 까다로운 조건에서 "펌프 '의 견고한 구성 및 안정적인 구성 요소는 안정적인 성능을 보장합니다. 전반적으로, ANELVA P-875CA는 최첨단 기술, 뛰어난 성능, 신뢰할 수있는 작동을 결합하여 최신 진공 시스템의 까다로운 요구 사항을 충족하는 최고급 터보 분자 펌프입니다. 소형 크기, 높은 펌핑 속도, 고급 로터 설계, 사용자 친화적 인 제어 기능을 갖춘 이 펌프는 정밀도, 효율성, 신뢰성이 가장 중요한 광범위한 UHV 어플리케이션을 위한 다용도 솔루션입니다.
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