판매용 중고 CANON / ANELVA P-082C #9355379
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ID: 9355379
Cryo pumps
Pumping speed (L/s):
Nitrogen: 1500
Argon: 1300
Hydrogen: 1000
Water: 4000
Maximum pumping flow (Pa-m³): 1.5
Maximum gas instantaneous tolerance (Pa-m³): 18.0
Startup time: 45 min
Regeneration time (Heat-up): 30 min
Startup regeneration time: 75+α
Pumping capacity (Pa-m³):
Argon: 150000
Hydrogen: 1300.
CANON/ANELVA P-082C 펌프는 반도체 처리 장비에 사용하도록 설계된 견고하고 정확한 회전 펌프입니다. 최대 1,970 시간당 표준 리터 (SLPH) 까지 흐를 수 있으며, 보다 안정적인 작동을 위해 우수한 진동 제어를 제공합니다. CANON P-082C는 안정적이고 견고한 유압 기반 로터리 베인 (vane) 디자인을 사용하여 가스와 액체를 효율적으로 전달합니다. 또한 "로터리 '의 균형 잡힌" 로터' 설계 는 진동 수준 과 "펌프 '에 의해 발생 되는 소음 을 줄이는 데 도움 이 된다. ANELVA P-082C에는 효율적인 펌프 작동과 공정 가스 및 액체의 정확한 제어를 위해 조절 가능한 정지 위치 (stop position) 및 속도 제어가 장착되어 있습니다. P-082C의 기본 구조는 ESR 처리 알루미늄 합금으로 만들어졌으며 충격 및 진동 저항, 열 전도성 및 높은 강도를 위해 설계되었습니다. CANON/ANELVA P-082C는 자체 함유 오일 윤활유 베어링과 펌프 바디와 임펠러 사이의 스프링 로딩 오일 밀봉으로 밀봉됩니다. 이것은 샤프트에서 열 손실, 소음 및 마모를 최소화하는 데 도움이됩니다. CANON P-082C는 또한 안전 구호 밸브 시스템 (Safety Relief Valve System) 과 과압 및 열 폭주로부터 펌프를 보호하도록 설계된 조절 가능한 압력 조절기를 갖추고 있습니다. 또한 ANELVA P-082C에는 프로세스 압력 모니터링을위한 차동 압력 스위치 (옵션) 가 있습니다. P-082C는 또한 작동 온도 범위가 -40 ° C ~ + 40 ° C인 고효율적이고 안정적입니다. 또한, CANON/ANELVA P-082C는 프로세스 실리콘 파이프에 직접 삽입 할 수있는 방수 케이블을 제공하여 공정 부식의 영향으로부터 펌프를 보호합니다. 펌프는 유지 보수가 적고, 일체형 덮개와 교체가 용이한 필터 카트리지를 통해 지속적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로, CANON P-082C 펌프는 고정밀 어플리케이션에서 최고 성능 및 안정성을 위해 설계된 고급 로터리 베인 펌프입니다. 견고하고 진동성 있는 구조, 자체 함유 된 윤활유 베어링, 조절 가능한 압력 조절기, 방수 케이블 및 교체 쉬운 필터 카트리지는 ANELVA P-082C를 반도체 처리 및 기타 고정밀 응용 분야에 적합합니다.
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