판매용 중고 CANON ANELVA CDP-3700 #9053138

CANON ANELVA CDP-3700은 반도체 제조 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 진공 펌프입니다. 박막 생산 (Thin Film Production) 및 제조 공정 (Fabrication Process) 과 같은 진공 응용 분야에 사용하기에 이상적이며, 높은 진공 제어 또는 낮은 수준의 가스 및 수분 제거가 필요합니다. CDP-3700은 1x10-4 torr만큼 낮은 압력에 도달 할 수있는 직접 드라이브 로터리 베인 펌프입니다. 이 "펌프 '는 통합 석유 여과" 시스템' 을 이용 하여 연장 된 사용 기간 에 깨끗 하고 안정 된 작동 을 보장 한다. CANON ANELVA CDP-3700에는 0.75kW 모터와 통합 V 형 플랜지가 장착되어 있어 조용한 작동이 가능하며 220-230VAC 입력 전원이 필요합니다. 다이렉트 드라이브 로터리 베인 펌프 (direct-drive rotary vane pump) 는 흐름을 조절하기위한 2 웨이 밸브와 오일 백플로 예방을위한 역전 클리어런스를 특징으로합니다. 이 설계 는 "벨트 '구동" 모우터' 를 필요 로 하지 않으며 유지 보수 를 더욱 간단 하고 비용 이 덜 든다. CDP-3700은 지속적으로 높은 수준의 진공을 유지하기 위해 초당 최대 35 리터의 펌핑 속도를 생성합니다. 또한 CANON ANELVA CDP-3700에는 수냉식 오일 목욕실이 통합되어 있습니다. 이는 열 전달을 줄이고 장치의 신뢰성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 큰 밀폐물을 확보하기 위해 높은 수준의 마운트가 있으므로 진공 정확도가 높습니다. 또한 인테리어 파티션 플레이트를 통해 오일 보존 성능 향상을 위해 초크 포인트 (choke point) 를 만들 수 있습니다. 과압 안전 밸브가 내장되어 있어 "펌프 (pump) '의 파손을 막을 수 있다. CDP-3700 을 사용하면 배기 포트 압력 및 속도 흐름을 조정하여 최적의 성능을 보장할 수 있습니다. 또한 소음 억제 필터 (noise suppression filter) 가 제공되어 펌프에서 발생하는 소음을 최소화합니다. 또한 CANON ANELVA CDP-3700에는 다중 진공 회선 연결을 단순화하기 위해 자동 전환 밸브가 있습니다. 마지막으로 CDP-3700 은 견고하고 신뢰성이 높아 무중단 운영을 보장할 수 있으며 1 년 무상수리가 제공됩니다. 전반적으로 CANON ANELVA CDP-3700은 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 고성능 로터리 베인 진공 펌프입니다. "펌프 '는 초속 35" 리터' 의 최고 속도 를 내며, 통합 석유 여과 "시스템 '을 이용 하여 깨끗 하고 안정 된 작동 을 보장 한다. 이 장치에는 통합 수냉식 오일 욕실, 조절 가능한 배기 포트 압력, 소음 억제 필터 및 자동 전환 밸브도 제공됩니다. 이것은 높은 진공 제어가 필요한 반도체 제작 프로세스에 이상적인 선택입니다.