판매용 중고 BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5 #9129480

BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5는 BOC EDWARDS가 설계하고 제조 한 견고하고 신뢰할 수있는 원자층 증착 펌프입니다. 혁신적인 기술을 통해 일관된 규정 준수 및 신뢰할 수 있는 레이어 두께 (Layer Thickness) 프로파일을 제공합니다. 고분자, 금속, 유전체 등 까다로운 응용 프로그램 및 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 우선, 이 펌프는 속도, 압력 및 안개 감소를 자동으로 조정 할 수있는 통합 자동 충전 NRV (Negative Resistance Valve) 를 특징으로합니다. 이를 통해 대기 압력 효과로 인한 손실을 최소화하면서 최소 연산자 (operator) 의 개입으로 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. NRV 시스템은 프로세스 조건의 변동에도 불구하고 균일하고 일관된 레이어 커버리지를 위해 설계되었습니다. iH1800 펌프에는 직접 저진공 기계식 포펌프도 포함되어 있습니다. 이것 은 비교적 빠른 "펌프 '다운 시간 을 허용 하는 한편, 상류 공정 에 청결 한 공기 흡입구 를 제공 한다. Mechanical forepump는 25 Pa 등급이며 원하는 경우 원심 송풍기가 장착 될 수 있습니다. 용도에 따라 다양한 가스종 (gas species) 을 수용 할 수 있습니다. 또한, iH1800 NRV MK5는 공정이 대기 압력과 수분 또는 기타 응축 가능한 종의 존재와는 독립적으로 반복 가능하도록 최고 수준의 진공 제어를 제공합니다. 이것은 이방성 전기 보조 게이트 밸브 (EAGV) 기술을 통해 달성됩니다. 기존 게이트 밸브에 비해 수명이 개선 된 최대 5 백만 개의 오픈 클로즈 (open-close) 작업이 가능합니다. 마지막으로, 이 펌프는 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 설계 및 인증되었습니다. 내구성과 부식에 대한 내성을 제공하는 고품질 재료로 구성되어 있습니다. 내부는 쉽게 조립 및 분해할 수 있으며 유지 보수 요구 사항이 낮습니다. 고도로 신뢰성 있는 하이브리드 (hybrid) 전자 시스템을 갖추고 있어 펌프 장애로 인한 가동 중지 시간을 줄일 수 있습니다. 결론적으로 BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5 펌프는 까다로운 ALD 프로세스에 효과적이고 안정적인 펌핑 기술입니다.