판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS A100L IPUP #9255606
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AMAT/APPLIED MATERIALS A100L IPUP은 반도체 처리 도구에 진공 조건을 제공하도록 설계된 회전 역학적 원심 진공 펌프입니다. 이 펌프는 터보펌프 (turbopump) 또는 터보 분자 펌프 (Turbomolecular Pump) 와 유사하지만 터빈을 사용하는 대신 동축 로터를 사용하여 필요한 진공을 생성합니다. 로터는 두 개의 로터로 구성됩니다. 두 번째 고정자 내에 외부에서 구동되는 로터. 로터는 외부 모터에 의해 구동되어 내부 반응을 생성합니다. 고정자 는 두 개 의 "로터 '에 의해 생성 된 천체 의 공기 흐름 의 양 을 감소 시키는 방법 으로 배열 된 몇 가지 정의 된" 비대칭 블레이드' 로 구성 되어 있다. 블레이드는 공기 난류와 포획으로 인해 항력을 줄입니다. 이 구성은 더 높은 압력, 낮은 진동 수준, 더 조용한 작동을 초래합니다. AMAT A100L IPUP은 펌핑 속도를 극대화하고 마모와 눈물을 최소화하도록 설계된 독특한 내부 형상을 갖춘 오일 밀봉 기계 펌프 (oil-sealed mechanical pump) 입니다. 로터는 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 부식 방지 재료로 코팅되었습니다. 고정자는 일반적으로 니켈과 같은 금속 합금으로 만들어집니다. 또한 "펌프 '는 과열 을 방지 하기 위한 열 보호 장치 를 갖추고 있다. APPLIED MATERIALS A100L IPUP는 1x10-3 ~ 1x10-5 Torr의 진공 범위를 생성 할 수 있으며 해수면에서 3.4m3/hr의 펌핑 속도를 갖습니다. 115V 또는 400V에서 작동 할 수있는 프레임 장착 모터와 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이 모터는 조절 가능한 브레이크를 가지고 있으며 5 년 (5 년) 보증이 제공되어 오랜 기간 동안 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다. A100L IPUP (IPUP) 은 신뢰할 수 있는 진공 소스를 제공하는 능력 때문에 다양한 반도체 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 특히 이온 이식 및 물리적 증기 증착과 같은 프로세스에 적합합니다. 이 펌프는 또한 의료, 연구, 산업 응용 프로그램 등 다른 업계의 진공 소스를 제공 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS A100L IPUP은 진공 소스가 필요한 산업 또는 실험실 설정을위한 귀중한 장비입니다.
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