판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 2005 SD #9351705

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 2005 SD
ID: 9351705
Rotary vane pump CFM: 3.8 Pressure: 0.0005 Torr Oil capacity: 0.83 L Power supply: 120 V, 1/2 HP.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 2005 SD는 고효율적이고 신뢰할 수있는 다이어프램 이중 스테이지 Forevacuum 펌프입니다. 박막 증착, 에치/클리닝, 처리, 분석 애플리케이션 등 반도체 업계의 프로세스 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. 펌프는 0.5mbar (a) 의 낮은 압력을 달성 할 수 있습니다. 두 단계로 구성됩니다. 높은 단계와 낮은 단계입니다. 두 단계 모두 각각의 펌프에 직접 결합 된 단일 보상 모터 (single compensated motor) 에 의해 구동됩니다. 이렇게 하면 부드럽고 조용하며 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 높은 단계에는 4kW 극성 모터로 구동되는 2 개의 별도의 대칭 피스톤 펌프가 포함됩니다. High Stage는 초당 5000 리터 (LPS) 의 배기 속도를 제공 할 수 있습니다. 개량된 밸런서 시스템 (balancer system) 은 포라인 안정성을 향상시키고 작동 소음 수준을 줄이는 열쇠입니다. 활용 된 현대식 "디자인 '과 건축 기술 은 가장 짧은 설치 시간 을 가져왔다. 낮은 단계는 두 개의 펌핑 챔버 사이의 가스의 횡격막 압축을 특징으로합니다. 여기에는 스테인레스 스틸 하우징 (stainless steel housing) 내에 장착되고 모터에 연결된 2 개의 통합 세라믹 다이어프램이 포함됩니다. 이 횡경막 들 은 설계 된 "모우터 '의 큰 동작 창 과 결합 되어 최대 의 성능 을 보장 하고 극히 낮은 압력 을 유지 한다. 낮은 단계는 궁극적 인 압력 0을 달성 할 수 있습니다. 5 mbar (a). 이 펌프의 작동 온도 범위는 40 ° C ~ + 70 ° C이며, 내구성 및 효율성 향상을 위해 통합 냉각수 펌프가 특징입니다. 이 펌프에는 이더넷 (Ethernet) 연결이 내장된 편리한 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 유지 관리 및 문제 해결이 간편합니다. 또한 유연성 향상을 위해 다양한 "액세서리 '를 비롯한 다양한 기능을 제공합니다. ADIXEN 2005 SD 펌프는 시장에서 가장 안정적이고 효율적인 forevacuum 펌프 중 하나입니다. 이중 단계 설계는 지속적이고 안정적인 운영을 보장하며, 사용자 인터페이스는 유지 관리 및 문제 해결을 용이하게 합니다. 다양한 액세서리 (accessory) 를 통해 유연성이 향상되고, 최저의 압력이 낮아 프로세스 성능이 최적화됩니다.
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