판매용 중고 VEECO FPP 5000 #5632

VEECO/DEKTAK FPP 5000은 반도체 제조를위한 전문 전문가입니다. 운영 프로세스에 대한 정확한 제어 및 샘플링 (sampling) 정확도가 필요한 사용자를 위해 설계되었습니다. VEECO FPP 5000 프로버 (Prober) 는 반도체 웨이퍼의 제어 및 정밀 조사를 가능하게하며, 생산 과정 내에서 웨이퍼가 정확하게 측정되도록 작업합니다. 이것 은 "웨이퍼 '에 적용 된 광학" 프로브' 와 촉각 "프로브 '의 조합 을 사용 한 다음, 표본 을 찍는다. DEKTAK FPP-5000 은 또한 자동화된 데이터 수집 기능을 제공하여 사용자가 기록된 데이터를 빠르고 정확하게 액세스하여 프로세스 진행 상황과 문제 해결 가능성을 파악할 수 있게 해 줍니다 (영문). VEECO/DEKTAK FPP-5000 프로버의 정밀도는 강력한 제어 플랫폼에서 파생됩니다. 독특한 2 단계 스캔 아키텍처는 단단히 동기화 된 다중 축 선형 및 회전 동작 시스템이있는 벡터 스캔 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이를 통해 정확한 위치, 압력, 타이밍 제어를 통해 정확한 위치 지정 및 샘플링을 보장할 수 있습니다. Prober는 또한 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 매핑, 자동 팁 조정과 같은 소프트웨어 제어 기능을 제공합니다. DEKTAK FPP 5000 프로버의 주요 구성 요소는 이동식 테이블, x-y-z 모션 시스템, 기계식 클램프 및 팁 어셈블리, 광학 및 촉각 프로브 헤드, 광학 하위 시스템 및 PC 기반 컨트롤러입니다. 이동식 테이블은 Probe 프로세스 동안 정확한 변환 및 회전을 제공합니다. 3 개의 선형 액추에이터와 로터리 베어링으로 구성된 x-y-z 모션 시스템은 광학 및 촉각 프로브의 위치 및 후퇴를 제어합니다. 기계식 클램프 (clamp) 와 팁 (tip) 어셈블리는 프로브 중에 웨이퍼 표면에 대한 프로브 헤드를 안전하게 고정시킵니다. 광학 서브시스템, 광학 현미경, PC 기반 컨트롤러는 선형 (linear) 및 로터리 (rotary) 액추에이터 외에도 자동화된 데이터 획득을 위한 전자 제어 기능을 제공합니다. VEECO FPP-5000 Prober는 또한 고해상도 이미징, 향상된 제어 소프트웨어, 디지털 신호 처리, 닫힌 루프 제어 시스템 등 다양한 성능 향상을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 신속하게 프로세스를 최적화하여 테스트/샘플링 프로세스의 정확성과 반복 (repeatability) 을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로, FPP 5000 Prober는 생산 과정에서 정확성이 필요한 사용자에게 우수하고 정확한 도구입니다. 고급 설계 기능, 자동화된 데이터 획득 기능, 다양한 성능 향상 기능을 갖춘 FPP-5000 Prober는 안정적이고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 제공합니다.