판매용 중고 VEECO FPP 5000 #175534
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VEECO/DEKTAK FPP 5000은 반도체 장치 테스트를 위해 설계된 고성능 자동 프로버입니다. 이 Prober는 모듈식 (Modular) 설계를 통해 변화하는 구성 프로세스 요구를 쉽게 충족할 수 있습니다. 다양한 프로브를 통해 웨이퍼 프로브에 대한 높은 정확도, 반복 가능성, 민감도를 제공합니다. VEECO FPP 5000은 대용량 생산과 소용량 테스트 (small lot testing) 를 위한 빠르고 안정적인 장비입니다. DEKTAK FPP-5000 은 고유하고 직관적인 사용하기 쉬운 인터페이스와 직접 측정 기능을 제공하므로, 수동 계산이 필요 없습니다. 여기에는 자동화된 Prober 정렬 시스템이 포함되어 있으므로 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있습니다. 이 검사는 초당 최대 40 개의 사이트를 조사 할 수 있으며, 최고 100 배의 속도와 최대 0.45 미크론의 탐사 정확도를 제공합니다. 또한 최대 0.3 미크론 (미크론) 의 최대 단계 정확도를 갖습니다. 즉, 우수한 모션 컨트롤과 더 높은 정확도의 조합을 통해 향상된 사이트 일치 정확도를 제공 할 수 있습니다. FPP-5000은 또한 강력한 툴 팁 클리닝 장치를 제공하여 잔류 및 미립자 오염으로 인한 프로브 손상을 줄입니다. 이 프로버 (Prober) 에는 고성능 냉각기가 장착되어 있어 프로브 (Probe) 와 프로버 헤드 온도가 안정적으로 유지되며 프로버 사이클 (Prober Cycle) 전체에서 허용되는 수준 내에 있습니다. 또한, 고성능 및 신뢰성을 위해 광범위한 금속 가공 및 접촉 재료를 사용합니다. VEECO/DEKTAK FPP-5000은 실시간 도구 모니터 (Real-Time Tool Monitor) 를 비롯한 여러 가지 고급 기능과 기능을 제공하며, 이는 Probe 도중 발생할 수 있는 장애 조건에 대한 진단 정보를 감지하고 제공합니다. 또한, Prober에는 자동 중심 에셋 (옵션) 이 포함되어 있으며, 사용자 정의 자동 Prober에 사용할 수 있는 사전 설정 라이브러리가 있습니다. 이 모델은 또한 결함 관찰 및 점검을위한 고급 광학 현미경 (optical microscope) 과 전체 웨이퍼 테스트를위한 웨이퍼 단계 (wafer stage) 를 제공합니다. 결론적으로, VEECO FPP-5000은 반도체 장치 테스트에서 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 결과를 제공하도록 설계된 강력하고, 고속 자동 프로버입니다. 광범위한 기능과 고급 (Advanced) 기능을 통해 대용량 운영 및 소용량 테스트 (Small Lot Testing) 를 수행할 수 있습니다.
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