판매용 중고 TELEDYNE TAC HAS-500 #293658709
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TELEDYNE TAC HAS-500은 반도체 장치 제작에 사용되는 웨이퍼 테스트를 위해 설계된 전문가입니다. 이 자동 웨이퍼 프로브 스테이션 (Automated Wafer Probe Station) 은 플래튼에 정확한 웨이퍼를 배치하기 위해 매우 정밀한 X-Y 테이블과 웨이퍼와 프로브 사이의 정확한 접촉을 위해 높은 정확도의 Z축을 갖춘 고급 설계를 갖추고 있습니다. 또한 고속 TELEDYNE 멀티 존 히터 (Multi-zone Heater) 장비를 사용하여 환경 온도 변화의 균일성에 영향을 미치지 않고 정확한 샘플 온도 풀 필드 균일 온도 제어를 지원합니다. TAC HAS-500은 우수한 품질의 컨트롤을 통해 고속 자동 웨이퍼 프로브를 제공 할 수 있습니다. 신속한 프로세스 내 (in-process) 측정을 위해 데이터를 감지하고 수집하여 신뢰성이 높은 결과를 얻을 수 있습니다. 프로브 스테이션에는 최소 이동 범위가 ± 10 um 인 고정도 전기 모터 드라이브 시스템이 있습니다. 또한 최대 1: 9의 종횡비로 다양한 기판 모양을 처리 할 수 있습니다. TAC TELEDYNE TAC HAS-500에는 9 메가 픽셀 디지털 카메라가 장착 된 고해상도 DMS (Digital Microscope Unit) 가 장착되어 있어 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 정확한 측정이 가능합니다. 또한 임베디드 APS (Automatic Positioning Machine) 는 4 점 또는 6 점 수동 정렬 기능뿐만 아니라 Fiducial 마크에서 좌표를 감지하고 Platen의 웨이퍼 위치를 정확하게 제어하는 APS (Automatic Positioning Machine) 를 갖추고 있습니다. 이 스테이션에는 기판 두께의 변형을 신속하게 보상하는 전동 조정 도구 (motorized adjustment tool) 도 포함되어 있습니다. 또한, TAC HAS-500은 공기 베어링을 사용하여 자동 정렬 및 반복 가능한 빠른 픽 앤 플레이스 (pick-and place) 작업을 위해 고정밀 프로브 이동을 달성하는 6 축 조작기와 통합됩니다. 또한 내장형 자동 웨이퍼 매핑 (automated wafer mapping) 자산으로 설계되어 이전에 정의한 웨이퍼 맵을 신속하게 저장하고 리콜할 수 있습니다. 이 스테이션에는 완전하게 통합된 데이터 획득 모델 (Data Acquisition Model) 이 포함되어 있어 웨이퍼 프로브 프로세스 (Wafer Probing Process) 동안 캡처된 데이터를 각 데이터 세트의 매개변수 데이터베이스와 병합할 수 있습니다. 전반적으로 TELEDYNE TAC HAS-500 (TELEDYNE TAC HAS-500) 은 리드 프레임 및 기타 기판 장치의 정확한 테스트 및 조사를 위해 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 프로브 스테이션입니다. 고도의 정확도 포지셔닝 (positioning) 장비와 강력한 기능을 통해 고급 반도체 (semiconductor) 디바이스를 생산할 때 광범위한 대용량, 고출력 (high-throughput) 프로세스의 요구를 충족할 수 있습니다.
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