판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #9282715
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ID: 9282715
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2016
Prober, 12"
Loader type: FOUP
Chuck material: Nickel mirror chuck
Chuck temperature: Hot
Temperature range: Room ~+150°C
Auto wafer ID reader:
Insight OCR 1721
Auto needle alignment
Auto wafer alignment
Needle cleaning for stage:
GPIB interface
No 230mm x 150mm
No filp SACC
No WAPP
No black brush
No chuck blow
No touch pen
No color CCD Alignment camera
No (3) Eyes alignment camera
No Hard Disk Drive (HDD)
No gold plate chuck, 12"
No temperature control with chiller
No auto card change
Optical system: ASU/BCU-II
Needle mark inspection
Single loader
Color LCD Display
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Precio는 세계 최고의 반도체 생산 장비 제조업체 중 하나 인 TEL이 만든 프로버입니다. TEL Precio는 사진 리소그래피에 대한 비 접촉, 매우 정확한 증명자입니다. 이 제품은 이중 광 레벨 (UV 및 VIS) 을 사용하여 섬세한 반도체 웨이퍼 표면에 뛰어난 이미징 및 정렬 정확도를 제공합니다. 고주기 생산 (high cycle time production) 을 위해 설계되었으며, 프로세스 전반에 걸쳐 최고 수준의 워크맨쉽을 유지하면서 처리량을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Precio는 일본의 최첨단 반도체 기술을 사용합니다. +/-2 미크론 미만의 직접 정렬 정확도를 제공하며, 사이클 당 1 미크론 미만의 위치 변경 오류를 허용합니다. 이 초고정밀도는 고급 GEM 장비에 의해 활성화됩니다. GEM 시스템은 다양한 웨이퍼 유형에 대한 고정밀 정렬 및 스캔을 지원합니다. Precio에는 실시간 비전 및 측정 장치가 장착되어 있어 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 주요 기능으로는 고속, 비접촉식 (non-contact) 광학 측정 기계, 고급 이미지 처리 기술, 터치 및 영역 조정 기능 등이 있습니다. 또한, 정확한 입자 분석 및 기판 표면 교정을 위해 현미경으로 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Precio는 최대 3D 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며 최대 6 개의 기하학에 대한 비 접촉 측정을 수행 할 수 있습니다. 이중 광 레벨 UV/VIS 도구는 샘플 서피스 아래의 다른 깊이에서 측정하는 기능을 제공합니다. 견고한 설계는 사이클 당 최대 3 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 자동 정렬 에셋은 반복 가능하고 정확한 결과를 보장합니다. TEL Precio에는 성능 및 신뢰성 평가 기능을 제공하는 QMS (Quality Metrology Model) 가 내장되어 있습니다. 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 와 품질 결과 (Quality Result) 간의 상관 관계에 대한 탁월한 통찰력을 제공하여 다양한 프로세스 모니터링을 지원합니다. TOKYO ELECTRON Precio는 섬세한 반도체 웨이퍼 처리에 이상적입니다. 뛰어난 처리량을 유지하면서 뛰어난 이미징 및 정렬 정확도 (Alignment Accuracy) 로 쉽게 사용할 수 있습니다. 듀얼 옵티컬 레벨, 실시간 비전 및 측정, 품질 도량형 장비 (Quality Metrology Equipment) 와 같은 고급 기능을 결합하여 신뢰할 수 있고 정확한 전문가를 제공합니다.
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