판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #9232739

TEL / TOKYO ELECTRON Precio
ID: 9232739
Wafer prober.
TEL/TOKYO ELECTRON Precio는 반도체 및 기타 유형의 집적 회로의 전기 특성을 조사하는 데 사용되는 프로버입니다. 이 장치는 다양한 회로의 전기 매개변수 (electrical parameters) 를 정확하게 측정하는 높은 정확성과 뛰어난 반복성을 특징으로합니다. 디지털, 아날로그 및 혼합 신호 IC 테스트에 이상적입니다. TEL Precio는 최대 8 개의 2 인치 웨이퍼 운반 카세트를 수용 할 수있는 4 축 고속 웨이퍼 스테이지로 설계되었습니다. 이 단계는 X-Y-Z 어셈블리와 정밀 선형 모터로 구동되어 최대 360mm/s의 속도로 3 차원 공간에서 테스트 웨이퍼를 정확하게 이동합니다. 스테이지는 정전기 척 (electrostatic chuck, ESC) 으로 구성되어 스테이지의 위치가 가장 높은 반복성과 안정성을 보장합니다. 이 시스템은 25mm ~ 300mm 직경의 웨이퍼와 호환되며 현미경은 단면 및 양면 웨이퍼를 모두 수용합니다. 이 프로버에는 DCC-75 컨택터가 장착되어 내장된 폐쇄 루프 힘 (closed-loop force) 모드로 매우 정확한 프로브를 제공합니다. 프로브를 누르고 테스트하는 기계식 암 (mechanical arm) 으로, 정확도는 최대 25äm, 반복 성은 최대 4õm입니다. 또한 여러 연락처를 동시에 테스트할 수 있는 뛰어난 열 안정성 (thermal stability) 을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON Precio는 Teltech WAT 소프트웨어로 구동되며, 사용자는 자동화되고 안정적인 테스트를 설계, 설정 및 제어할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 체크 스케줄링, 웨이퍼 매핑, 통계 프로세스 제어, 그래프 생성기, 레시피 라이브러리, 자동 피드백 등의 고급 엔지니어링 및 프로덕션 기능을 결합하여 반복 가능성, 속도 및 더 높은 수율을 보장합니다. 이 장치는 또한 고해상도와 최대 5 배의 확대 (확대) 를 갖춘 이중 빔 디지털 현미경 (DMD) 을 사용하여 프로브 접촉 품질을 정확하게 모니터링합니다. 통합, 신뢰성, 정교성 및 정확성의 조합으로 Precio는 반도체 및 기타 IC 테스트를위한 선택 증명자로 사용됩니다.
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