판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Precio XL #9261689
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판매
ID: 9261689
웨이퍼 크기: 8"-12"
Prober, 8"-12"
Stage technology: Linear motor
XY Probing accuracy: ±1.8 μm
Z Probing accuracy: ±5.0 μm
Probing force: 200 / 300 kg
Optical system: ASU/BCU-II
Operation system: Windows and PLC.
TEL/TOKYO ELECTRON Precio XL Prober는 평면 화 및 도량형에서 최고의 정확도를 제공하도록 설계된 정밀 웨이퍼 프로버입니다. 이 프로버 (Prober) 의 독특한 디자인은 최신 기술을 기반으로하며 정교한 이미징 장비를 사용하여 각 웨이퍼 기판에서 개별 다이 (die) 를 분석합니다. TEL Precio XL은 고급 XYZ 단계를 특징으로하며, 이는 평면 화를위한 탁월한 정확성을 제공하며 도량형 측정 역학을 해결합니다. "로봇 '암 은 정밀도 가 가장 높은 정밀도 의" 웨이퍼' 위치 를 제공 하는 반면, 정렬 중 에 "웨이퍼 '의 긴장 을 줄이기 위하여 얇은 장치 처리기 를 갖추고 있다. TOKYO ELECTRON Precio XL Prober의 고급 기술은 평평함 (flatness) 및 두께 변화 (thickness variations) 와 같은 물리적 매개변수를 정확하게 측정하도록 설계되었습니다. 이것은 평면 화 및 비 접촉 검사에 사용되는 4 축 스캔 시스템을 통해 수행됩니다. 이 단위는 전체 웨이퍼 서피스에서 유전체 두께와 평면 (planarity) 의 미세한 변화를 측정 할 수 있습니다. Precio XL은 사용자 정의 설계 진동 분리 기계를 사용하여 측정 중 진동을 최소화합니다. 이 기능은 정확하고 정확한 측정을 보장하고 동작 (motion) 으로 인한 부정확한 데이터 발생 가능성을 줄이는 데 도움이 됩니다. 또한 Prober에는 데이터 제어, 분석, 수집을 위한 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 배치 (batch) 및 자동 실행 (autorun) 설정에 대한 여러 옵션을 통해 고급 프로버가 일관되고 안정적인 방법으로 고품질 데이터를 생성할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Precio XL Prober는 평면 화 및 도량형에서 최고의 정확도를 제공하는 고급 웨이퍼 프로버입니다. 고급 XYZ 단계, 4축 스캔 도구, 진동 격리 자산 및 사용자 정의 설계 소프트웨어를 통해 TEL Precio XL은 정확성과 안정성이 향상되어 정확한 측정을 제공합니다.
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