판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Precio Octo #9362671

TEL/TOKYO ELECTRON Precio Octo는 특수 반도체 도량형 및 검사 프로버입니다. 반도체 웨이퍼 및 구성 요소를 정확도가 높게 검사하도록 특별히 설계되었습니다. TEL Precio Octo에는 반도체 측정을위한 3 가지 다른 기술이 장착되어 있습니다: 광학 도량형, EPR (Electron Paramagnetic Resonance) 측정 및 MFM (Magnetic Force Microscopy). 광학 도량형 (Optical Metrology) 을 사용하면 고급 광학을 사용하여 웨이퍼의 피쳐를 정확하게 측정 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Precio Octo의 LWIR (Long-Wave Infrared) 장비를 사용하면 5nm 이상의 정확도로 작은 미세 기하학적 구조를 측정 할 수 있습니다. 이 기술은 특히 고밀도 측정 응용 프로그램 (정밀도 필수) 에 유용합니다. EPR 측정은 재료의 전기 특성을 결정하는 데 필수적입니다. Precio Octo는 Radio-Frequency UFH 프로브를 사용하여 2 미크론/2% 의 정확도로 다른 온도에서 재료의 전기 및 광학 특성을 측정합니다. 이 시스템은 도펀트 농도, 결함 밀도, 확산 길이 및 기타 전기 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. MFM 기술은 웨이퍼 표면의 가장 자세한 이미지를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Precio Octo의 MFM 장치는 10-20nm의 해상도와 3nm의 측정 정확도를 가지고 있어 매우 정밀한 측정이 가능합니다. 힘 범위가 0.25 ~ 25N 인 경우, 기계는 웨이퍼의 표면 지형을 정확하게 측정 할 수 있습니다. TEL Precio Octo는 고도의 반도체 도량형 및 검사 프로버로, 정확도가 가장 높은 어플리케이션 검사 및 측정을 위해 설계되었습니다. 고급 광학 도량형 (Optical Metrology), EPR 및 MFM 기술의 조합은 비교할 수없는 정밀도를 제공하여 반도체 구성 요소를 안정적으로 검사하고 측정 할 수 있습니다.