판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON PR300Z #293664957
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ID: 293664957
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Carrier-less BEOL Cleaning system, 12"
(3) Modules: Process, chemical and transfer
YASKAWA ERCR-NS00-A210-E
YASKAWA Motoman YR Series robot
Miscellaneous parts
CE Marked
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON PR300Z 프로버는 고성능 풀 모터 웨이퍼 프로버입니다. 장기 주기 동안 일관되고 정확한 웨이퍼 테스트를 수행하는 매우 정확한 도량형 (metrology) 기능을 제공합니다. 6 인치 조각에서 12 인치 조각까지 다양한 웨이퍼 크기를 지원하며, 다양한 패턴 기능과 가장자리 마감이 있습니다. 주요 구성 요소는 웨이퍼 픽 앤 플레이스 유닛, 프로버 스테이지, 자동 초점 장비, 프롤러 헤드 및 대기 압력 (AP) 시스템으로 구성됩니다. 웨이퍼 픽 앤 플레이스 (Wafer Pick and Place) 장치에는 모서리를 손상시키지 않고 웨이퍼를 조작할 수있는 자동화된 "소프트 수직 픽 (Soft Vertical Pick)" 기능과 고속 고정밀 자동 입력 기능이 있습니다. Prober 단계는 CNC (Computer Numerical Control) 기술로 제어되며 테스트 프로세스 전반에 걸쳐 사용자가 웨이퍼 동작을 정확하게 제어할 수 있습니다. 자동 초점 장치는 기울기 (tilting) 및 기타 표면 불규칙성을 제거하여 최적의 웨이퍼 접촉을 보장하고 접촉 점 파동을 최소화합니다. 프로버 헤드 (Prober Head) 는 빠르고 반복 가능한 정확한 조사 및 테스트를 가능하게하며, 테스트 결과에서 중요한 드리프트를 제거합니다. 마지막으로, 대기 압력 기계 (Atmospheric Pressure Machine) 는 프로버 헤드 (Prober Head) 에 일정한 압력으로 깨끗한 공기를 제공하여 확장 사용 기간에 걸쳐 정확하고 안정적인 프로브를 허용합니다. TEL PR300Z Prober는 가변성이 낮은 하이 샘플링, 전동식 웨이퍼 배치 도구, 컴퓨터 인터페이스, 사용자 정의 가능한 테스트 프로그램, 저소음 작업 등 다양한 내장 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 또한 고급 비전 제어 로봇 시스템 (vision-controlled robot system) 과 고급 제어 알고리즘 (advanced control algorithm) 을 통합하여 자동화된 테스트 및 복잡한 테스트 요구 사항에 적합합니다. 스마트 장애 진단 (Smart Failure Diagnosis) 기능은 중요한 장애 또는 결함을 신속하게 감지하고 경고하며, 신속한 해결과 정확한 테스트 결과를 제공합니다. TOKYO ELECTRON PR-300Z Prober는 웨이퍼 테스트 및 생산 요구를 위한 탁월한 성능, 내구성, 신뢰성을 제공합니다. 견고한 설계로 예기치 않은 웨이퍼 동작 (wafer motion), 진동 (vbration) 및 충격 (shock) 을 처리하여 효율적인 생산 및 테스트 주기를 가능하게 합니다. 또한 전기적 (Electrical), 화재 (Fire) 및 기타 안전 보호 (Safety Protection) 를 비롯하여 다양한 안전 기능을 제공하여 사용자 안전과 장비를 안전하게 보호하고 올바르게 실행할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON PR300Z Prober는 고급 웨이퍼 테스트 어플리케이션의 성능을 최적화하기 위해 설계된 통합되고 정밀한 Prober 자산입니다. 높은 정확도, 저소음 작동, 수많은 내장 기능, 안전 보호 (Safety Protection) 기능을 통해, 웨이퍼 테스트 요구에 대한 정확하고 정확한 결과를 보장하려는 연구원과 생산 전문가에게 이상적입니다.
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