판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9261697
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ID: 9261697
웨이퍼 크기: 4"-8"
Prober, 4"-8"
Stage technology: Ball screw
XY Probing accuracy: ±4.0 μm
Z Probing accuracy: ±5.0 μm
Probing force: 60 kg
Optical system: ASU/BCU-I
Operation system: VME.
TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL 프로버는 웨이퍼 제조 공정의 웨이퍼 테스트에 사용되는 고정밀 장비로, 전문가 분석을 통해 정확한 정확도를 제공합니다. 이 프로버는 -50 ° C ~ + 130 ° C의 넓은 온도 범위에서 웨이퍼를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 고정밀도 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능을 제공하여 결함이 최소화되면서 고품질 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 이 Prober는 진공실과 정확한 위치 지정 시스템 (positioning system) 을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 정확한 측정을 캡처합니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 생산 프로세스의 사양 요구 사항 내에서 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 프로버 (Prober) 에는 레이저를 사용하여 웨이퍼에 점 배열을 그려 정렬 맵을 만들고 설정 시간을 절약하는 사전 정렬 레이저 (pre-alignment laser) 가 있습니다. 또한 이 Prober는 단일 웨이퍼당 하나 또는 여러 DUT를 측정하여 테스트 효율을 극대화할 수 있습니다. TEL P8XL 은 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 다양한 테스트 매개변수를 빠르고 쉽게 입력할 수 있습니다. 이 Prober는 또한 결함을 빠르게 식별하는 TEL ID Detect 및 더 나은 데이터 분석을위한 고감도 측정을 제공하는 TOKYO ELECTRON Grasp Tool과 같은 다양한 도구를 사용합니다. 또한, 이 Prober에는 다양한 유형의 측정에 대한 정확한 접촉을위한 자동 시스템이 있습니다. 이 프로버는 또한 적외선 반사계 (infrared reflectometry) 와 같은 웨이퍼 테스트 응용 프로그램을위한 포괄적 인 솔루션을 제공하는 Pac 1 (Pac 1) 과 무접촉 웨이퍼 테스트 응용 프로그램 및 기타 단기 측정을위한 솔루션 인 Pac 2 (Pac 2) 와 같은 다양한 패키지를 제공합니다. 또한, 이 Prober에는 테스트 데이터를 분석 및 보고하기 위한 여러 소프트웨어 패키지가 있습니다. TOKYO ELECTRON P8-XL 프로버는 모든 웨이퍼 테스트 요구에 적합한 솔루션입니다. 매우 정밀한 정렬 시스템, 견고한 소프트웨어 패키지, 종합적인 테스트 패키지 등, 이 Prober는 Wafer 테스트를 위한 전문 솔루션을 제공합니다.
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