판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9168467

TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL은 다양한 반도체 장치의 웨이퍼 테스트 및 상호 연결 테스트를 위해 특별히 설계된 고해상도 프로버입니다. 이 플랫폼은 공간 정확도가 우수하고 처리량이 높은 작은 설치 공간을 갖추고 있습니다. TEL P8XL은 스캐닝 레이저 간섭법 (Scanning Laser interferometry) 과 XYZ 프로빙 기술의 조합을 사용하여 각 웨이퍼의 정확한 정렬 및 테스트를 보장합니다. 이 플랫폼은 X축에서 220mm, Y축에서 130mm, Z축에서 18mm 범위의 5 축 선형 단계를 특징으로합니다. 스캐닝 속도는 XY 축의 경우 0.1mm - 10mm/sec, Z축의 경우 0.1mm - 1mm/sec입니다. 레이저 간섭계는 낮은 열 이동 레이저 헤드와 F # = 1.10 렌즈 및 서브 미크론 위치 해상도를위한 YVO4 모놀리식 간섭계 인코더를 결합합니다. TOKYO ELECTRON P8-XL 플랫폼에는 500ohm에서 10Kohm의 최대 범위 출력이 장착되어 있습니다. 비 선형성 및 최소 열 이동을 개선하는 온보드 D/A 채널이 있습니다. 프로버 (Prober) 는 다양한 유형의 프로버 및 플랫폼을 지원하여 광범위한 테스트 응용 프로그램을 지원합니다. 이 플랫폼에는 자동 공구 교정 (automated tool calibration) 기능이 있어 웨이퍼가 가장 높은 정확도로 테스트됩니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON P8XL Prober는 반도체 장치의 테스트 및 교정을 위해 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 솔루션입니다. 5 축 선형 단계와 매우 정밀한 레이저 간섭계 (interferometer) 는 광범위한 웨이퍼 테스트 및 상호 연결 테스트 요구 사항에 이상적인 선택입니다.