판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9167879

TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL은 반도체 칩 및 웨이퍼의 정밀 조사 및 테스트를 위해 설계된 디지털 프로버입니다. 고속 스캔, 반복 가능한 정확성, 향상된 제어 유연성, 고속 디지털 데이터 획득 등 다양한 기능을 활용하고 있습니다 (영문). 이 프로버는 모델에 따라 최대 49 개의 칩/웨이퍼를 수용 할 수있는 크고 정확한 스캐닝 단계를 특징으로합니다. 고속 스캐닝과 결합된 정확한 샘플 포지셔닝 기능을 통해 빠른 응답 속도 (fast responses) 와 정확한 조사 결과 (Probe Resposing Result) 를 보장합니다. TEL P8XL은 4 축 프로버로, 샘플 홀더와 공구의 마운팅을 지원하는 3 축 로봇 암과 수직으로 움직이는 4 번째 이동식 Z축을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 샘플 홀더를 재배치하지 않고 샘플 이동이 가능해지며, Probe 헤드의 반복 가능한 정밀도를 유지합니다. 또한 Probe 및 Testing Cycle 완료 시간을 대폭 단축할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON P8-XL은 XYZ 축 이동을위한 2.5nm 반복 성과 각 프로브에서 0.5nm 반복 성을 특징으로합니다. 즉, 고속 스캐닝과 정확하고 정확한 데이터 수집을 필요로 하는 Probe 애플리케이션에 적합합니다. 동작 축을 따라 0.15 "미터 '의 해상도 와 데이터 수집 을 위한 0.10" 미터' 의 해상도 를 갖추고 있어서 "칩 '이나" 웨이퍼' 에 있는 작은 물체 나 특징 을 정확 하게 캡처 하고 측정 할 수 있다. TEL/TOKYO ELECTRON P-8 XL의 제어 시스템은 여러 제어 모드를 갖춘 사용자 정의 기능이 뛰어납니다. 웨이퍼/칩 스캔용 "SIM-scan" 명령 및 역방향 스캔용 "PRBF" 명령과 같은 다양한 통신 명령을 지원합니다. 또한 매개 변수 명령, 패턴/시퀀스 설정, 데이터 입력/출력, 그래픽 데이터 디스플레이 등 다양한 프로그래밍 기능을 제공합니다. 유연성을 강화하기 위해 패턴 배포 및 프로그래밍 활동에 대한 IBM IPL (Compatible Partitioning Language) 도 지원합니다. 안전 및 유지 보수 측면에서 TOKYO ELECTRON P-8 XL에는 운영자 친화적 인 인터페이스와 긴급 정지 스위치, 도어/커버 안전 스위치, 기계 오작동 안전 스위치와 같은 여러 안전 조치가 장착되어 있습니다. 또한 오염 방지 및 사진 에치 (photo-etch) 손상을 보장하는 자동 청소 장치로 설계되었습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON P 8 XL은 고속 스캐닝 기능과 정확하고 정확한 데이터 획득을 결합한 고급 디지털 프로버입니다. 다양한 Probe/Testing 애플리케이션에 적합한 사용자 지정이 가능합니다.