판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9167757
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ID: 9167757
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
Prober, 8"
VIP3
Inker
Right loader (W Hinge)
Down loader (WO Hinge)
8" Gold chuck top
Hot chuck: +150°C
Semi Automatic Card Changer (SACC)
WAPP Polish plate.
TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL Prober는 프로브 리소그래피 스캔을 위해 특별히 설계된 고급 반도체 테스트 장비입니다. 이 유형의 리소그래피는 다양한 재료의 표면에 복잡한 3 차원 나노 구조를 정확하게 제작하는 데 사용됩니다. TEL P8XL Prober는 고급 기능으로 설계되어 사용자의 석판 처리 (lithographic process) 를 빠르고 정확하게 실행할 수 있도록 지원합니다. TOKYO ELECTRON P8-XL은 정밀 구동 스캐닝 프로브 테이블, 초감응 프로브 및 종합적인 GUI 기반 이미징 소프트웨어로 구성됩니다. 이 시스템은 최대 10 nm 해상도로 스캔 할 수 있으므로 나노 스케일 (nanoscale) 제작에 효과적인 도구입니다. 또한, 자동 정렬 장치는 전체 작동을 빠르고 정확하게 만듭니다. P-8XL (P-8XL) 은 진공실 (vacuum chamber) 과 같은 다른 구성 요소와 쉽게 통합되어 보다 고급 스캔 환경을 제공 할 수 있습니다. 프로버 (Prober) 는 액티브 냉각 기술이 적용된 진공 챔버 (vacuum chamber) 로 구성되어 극한의 환경에서 작업할 수 있습니다. 내부에서, 짧은 대기 시간 서보 모터는 스캐닝 프로브를 구동하여 고속 이미징을 가능하게합니다. 견고한 핸드 툴도 기계에 포함되어 안정적이고 정확한 스캐닝 제어 (scanning control) 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 및 온보드 프로그램 기능을 통해 TOKYO ELECTRON P8XL을 사용하여 서브 미크론 정확성과 반복 성을 갖춘 복잡한 구조를 만들 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON P-8 XL Prober는 하드웨어 외에도 패턴 생성 및 제작 제어 (fabrication control) 기능을 지원하는 소프트웨어 툴과 함께 패키지로 제공됩니다. 포함된 리토그래프 (Lithograph) 소프트웨어는 도구와 완벽하게 통합되어 자동화된 리소그래피 프로세스를 손쉽게 설정, 수행할 수 있습니다. 마지막으로, TEL P-8XL Prober는 인터 록, 안전 광 커튼, 독점 안전 제한 시스템과 같은 최첨단 안전 기능을 사용하여 운영 중 사용자를 손상으로부터 보호합니다. 고급 기능, 뛰어난 다용도 및 내장 안전 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON P8-XL Prober는 모든 고급 nanofabrication 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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