판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9167611

TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL 프로버는 초정밀 프로브를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 프로빙 스테이션입니다. 높은 정확성과 반복성, 정밀 Z 동력 단계, 스캐닝 기술 및 고급 광학 솔루션으로 긴 여행 XY 단계를 통합합니다. 긴 여행 XY 단계는 TEL P8XL (PEL P8XL) 이 다른 프로버가 x 방향과 y 방향 모두에서 우수한 여행 거리로 인해 할 수없는 웨이퍼의 위치를 정확하게 조사 할 수 있도록 보장합니다. x- 축에서 0.05 µm, y- 축에서 0.1 äm의 높은 정확도와 반복성은 고주파 측정과 같은 어려운 조건에서도 높은 프로빙 정확도를 유지하는 데 도움이됩니다. 정밀 Z 동력 스테이지는 피해를 최소화하기 위해 웨이퍼 (wafer) 또는 다이 (die) 로 매우 부드러운 터치를 만듭니다. 스테이지에는 탄성 마운트가 포함되어 있으며 설정 조정이 필요하지 않습니다. "웨이퍼 '나" 다이' 의 표면 을 자동적 으로 보충 하여 "프로브 '의 정확도 와 평평 함 을 향상 시킨다. TOKYO ELECTRON P8-XL에서 사용하는 스캔 기술은 컬렉터 트리오와 분할 광학을 특징으로하는 고급 광학 패키지를 사용합니다. 이 패키지는 다양한 웨이퍼 (wafer) 를 조사하는 데 사용되는 다양한 형태의 프로브를 지원합니다. TOKYO ELECTRON P 8 XL은 또한 얕은 다이 프로브 (Shallow Die Probing) 와 같은 어려운 프로브 작업을 위해 다른 모양의 프로브를 사용하여 더 큰 성공과 정확성을 제공합니다. 통합 optics 솔루션에는 동적 자동 초점, 자동 Probe 삽입 거리 시뮬레이션 소프트웨어, 웨이퍼 품질 향상, Probing 시간 단축이 포함됩니다. 또한 P-8XL은 옵션 Hi-Q 안정화 장치를 사용하여 온도 표류를 보완하고 정확도를 향상시킵니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON P8XL 프로버는 긴 여행 XY 단계, 정밀 z 동력 단계, 고급 광학 패키지, Hi-Q 안정화 및 다양한 자동 기능을 결합한 고급 및 초정밀 웨이퍼 프로프를위한 강력한 도구입니다. 원격 (Remote) 또는 자동 (Automated) 작업을 위해 설계되었으며, 원활한 워크플로의 작업을 손쉽게 설정하고 관리할 수 있습니다.