판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9131758
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ID: 9131758
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Prober, 8"
Hot
200v
Power Cable
Head plate
Gas-spring on headplate
Standard monitor
WAPP-10K with brush
Card Holder
Manipulator
Wafer Table
SACC: 200/300
Boards:
147-CON
VIP3
GP-IB
TVB9003-1316
QMC#0
QMC#1
DMC3#2
TESTER
I/F
M-1
M-2
LST-1
LST-2
PST-STD
PST-OPT
SIO
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL Prober는 반도체 칩 및 웨이퍼를 테스트, 특징 지정 및 검사하도록 설계된 자동 웨이퍼 프로빙 장비입니다. 고급 다이 처리 시스템, 정확한 프로브 포지셔너, 고해상도 광학 진단 장치 (Optical Diagnostic Unit) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 웨이퍼 레벨에서 집적 회로 (IC) 를 특성화하기에 이상적인 플랫폼을 제공합니다. TEL P8XL은 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 처리 할 수있는 완전 자동화 프로버 도구입니다. 효율적인 웨이퍼 전송을 위해 통합 듀얼 축 로봇 재료 핸들러 (X-Y "Xacta" 포지셔너) 와 통합됩니다. 옵션 어댑터를 사용하여 4 "에서 8" 사이의 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 이중 축 (Dual-axis) 로봇 핸들러는 웨이퍼를 스토리지 사이트 (Storage Site) 에서 테스트 영역으로, 스토리지 사이트로 빠르고 정확하게 이동할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON P8-XL Probe 자산에는 다이 특성화 및 웨이퍼 매핑을위한 고해상도 광학 현미경이 장착되어 있습니다. 이 현미경은 웨이퍼 표면 및 구조의 검사 및 분석을 가능하게합니다. 테스트하는 동안 웨이퍼 (wafer) 또는 다이 (die) 의 파노라마 시각화를 위해 소프트웨어를 통해 작동 할 수있는 전동식 스테이지가 있습니다. 현미경에는 분석용 이미지를 캡처하기위한 고감도 비디오 카메라가 있습니다. TEL P8-XL 프로버의 자동 테스트 기능은 PDU (Probe Drive Unit) 에 의해 활성화됩니다. 이 현미경, 프로그래밍 가능한 프로브는 테스트 프로세스 전반에 걸쳐 프로빙 위치 (Probing Position) 및 각도 방향 (angular Orientation) 을 조정하여 웨이퍼에 있는 각 칩의 정확하고 반복 가능한 테스트를 보장합니다. PDU는 또한 자동화 된 웨이퍼 처리 모델을 처리하여 Prober에 샘플 로딩을 처리합니다. 또한, PDU는 다양한 칩 테스터 및 테스트 프로브와 통합되어 각 칩에서 정확한 전기 파라미터 (electrical parameter) 를 얻을 수있는 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON P-8XL에는 웨이퍼 사이트의 정확한 위치를 지정하기위한 고급 모션 제어 시스템도 있습니다. "프로그램 '가능 한 공기 압력" 컨트롤러' 는 탐사선 과 "다이 '표면 사이 의 접촉 을 위한 최적 의 압력 을 보장 한다. TOKYO ELECTRON P 8 XL 프로버는 프로세스 개발, 웨이퍼 정렬 및 생산 테스트를 위해 반복 가능한 고정밀 측정을 수행 할 수 있습니다. 가전, 자동차, 생의학, 재료 과학 등 다양한 산업에서 사용됩니다.
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