판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLn #9236129

ID: 9236129
Prober.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLn Prober는 반도체 제조업체가 실리콘 웨이퍼 및 화학 특성을 측정, 검사 및 평가하는 데 사용하는 고급 웨이퍼 검사 도구입니다. 이 Prober는 다중 축 위치 지정 기술을 구현합니다. 이 기술은 0.01x ~ 0.003mm 해상도의 웨이퍼 원형성을 정확하게 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 웨이퍼의 여러 비접점 (non-contact point) 의 깊이, 크기 및 모양을 동시에 측정할 수 있습니다. 또한 조정 가능한 웨이퍼 그루빙 (wafer grooving) 장비가 있으며, 반도체의 화학 필름 특성에 대한 다양한 분석 및 평가를 수행하는 데 사용될 수 있습니다. TEL P 12 XLN은 온라인 두께 측정에 LIS (Laser Interferometry System) 를 사용합니다. 이 장치는 레이저 광원, 광학 세트, 스캔 렌즈 및 사진 센서로 구성됩니다. "레이저 '빛 은" 웨이퍼' 표면 을 향하여, 사진 "센서 '에 의해 검출 되는 간섭 패턴 을 만들어 내고, 정확 하고 반복 할 수 있는 측정 을 할 수 있게 한다. 이 프로버 (Prober) 에는 이 도구의 챔버에 웨이퍼 (Wafer) 를 정확하게 배치할 수 있도록 하는 로봇 자동화 (Robot Automation) 기능이 장착되어 있으며, 이를 통해 웨이퍼 배치 동작이 매번 정확하게 실행됩니다. 반복 가능한 정확성과 정확성으로 TOKYO ELECTRON P-12 XLN은 생산 후 안정적인 결과 생산을 제공 할 수 있습니다. 향상된 정확도를 위해 TOKYO ELECTRON P 12 XLN은 1mm ~ 4mm 사이의 이동 범위를 갖는 고정밀, 대형 간섭 단계를 특징으로합니다. 이를 통해 기울기 및 흔들기를 최소화하면서 다양한 두께에 대해 매우 정확한 측정이 가능합니다. TOKYO ELECTRON P-12XLn은 유연성과 신뢰성으로 업계에서 잘 알려져 있습니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 유형과 잘 작동하며 복잡한 필름을 측정 할 수 있습니다. 또한 수위, 온도, 압력 수준을 모니터링하는 기계를 자랑하여 품질 관리 (quality control) 목적으로 일관된 판독값을 보장합니다. TEL P-12XLn (TEL P-12XLn) 은 편리하고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 터치 스크린 기반 제어판을 갖춘 사용자 친화적인 툴입니다. 또한, 사고와 다운타임을 줄일 수 있는 다양한 안전 기능이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XLN Prober는 강력한 다목적 도구로, 고급 다축 포지셔닝 기술, 로봇 자동화 및 대형 간섭 단계를 통해 고정밀 결과를 제공합니다. 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface), 안정적인 데이터 읽기, 안전한 운영 기능을 갖춘 이 Prober는 반도체 생산에 효과적이고 귀중한 툴입니다.
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