판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLn/n+ #9261693
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ID: 9261693
웨이퍼 크기: 8"-12"
Prober, 8"-12"
Stage technology: Ball screw
XY Probing accuracy: ±1.8 μm
Z Probing accuracy: ±5.0 μm
Probing force: 100/200 kg
Optical system: ASU/BCU-I
Operation system: VME.
TEL P-12XLn/n + 은 사용자에게 고성능 웨이퍼 테스트 솔루션을 제공하는 다목적 전문가입니다. 이 도구는 BiCMOS, CMOS, GaAs, SiGe 및 high-k 유전체를 포함한 다양한 고급 웨이퍼 구조 및 기술을 테스트 할 수 있습니다. P-12XLn/n + 는 신뢰성, 정확성 및 향상된 웨이퍼 처리량으로 빠른 테스트 범위를 제공합니다. P-12XLn/n + prober에는 고해상도, 4 차원 웨이퍼 정렬 장비가 장착되어 있어 테스트 중에 웨이퍼를 정확하고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이 정렬 시스템은 X 축과 Y 축 모두에서 +/-25 미크론을 사용할 수 있습니다. 또한, 프로버는 Z축에서 최대 1.5 도의 웨이퍼 레벨을 측정 할 수 있으며, 이는 웨이퍼의 높은 정확도 정렬을 가능하게합니다. 이 고급 정렬 장치는 웨이퍼 테스트 시간을 크게 줄여 궁극적으로 처리량을 향상시킵니다. P-12XLn/n + 에는 특허를받은 저감도 웨이퍼 처리 머신 (low-sensitivity wafer handling machine) 이 장착되어 있어 테스트 중인 장치에 대한 기계적 스트레스가 적습니다. 이 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 는 테스트 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼가 올바른 정렬을 유지하도록 설계되었습니다. 또한, 완전히 통합된 자동 초점 자산은 장치 테스트 일관성을 보장하는 데 도움이 됩니다. P-12XLn/n + prober에는 고급 CMU-1000 시리즈 제어 모델도 있습니다. 이 장비는 강력하고 사용자 친화적 인 프로그래밍 기능을 제공하여 테스트 엔지니어가 자체 스크립트로 시스템을 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있도록 합니다 (영문). 또한, 이 장치는 매우 간단한 구조에서 복잡한 3D IC에 이르기까지 다양한 장치를 테스트 할 수 있습니다. 또한 P-12XLn/n + 는 광범위한 진단 기능을 제공하는 강력한 소프트웨어 패키지를 제공합니다. 여기에는 웨이퍼 측정, 정렬 수정, 자동 Probe 카드 특성, 웨이퍼 분석을위한 다양한 유틸리티가 포함됩니다. 또한 사용자 친화적인 GUI 는 더욱 간편한 데이터 분석 및 보고 기능을 제공합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON P-12XLn/n + prober는 사용자에게 고성능 웨이퍼 테스트 솔루션을 제공합니다. 고급 정렬기, 저감도 웨이퍼 처리 도구, 자동 초점 자산, 강력한 제어 모델 등 모두 다양한 웨이퍼 (wafer) 구조와 기술을 능률적으로 테스트하는 데 기여합니다. 강력한 소프트웨어 패키지는 테스트 프로세스의 정확성과 일관성을 더욱 향상시켜, 결국 웨이퍼 (Wafer) 처리량 및 신뢰성을 높입니다.
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