판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLm #293804668

ID: 293804668
Wafer prober.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLm 은 직경 300 mm 의 대형 웨이퍼와 함께 사용하도록 설계된 웨이퍼 프로버입니다. TEL Prober Control Equipment (PCS) 기술을 활용하여 정확하고 안정된 웨이퍼 프로브 성능을 제공합니다. 이 웨이퍼 프로버 (wafer prober) 는 웨이퍼와 그 구성 요소를 높은 정확도와 속도로 분석하고, 물리적, 전기적 특성을 쉽게 관찰하기 위해 만들어졌습니다. TEL P12XLM은 초고성능 (Ultra-Accrect) 포지셔닝 및 고속 매핑을 위해 설계된 고급 광역 듀얼 센서 시스템을 사용합니다. 이중 센서 장치에는 높은 정확도의 광학 머신과 고속 정전식 감지 도구가 있습니다. 광학 자산은 0.3 m 범위로 웨이퍼 위치를 측정하고 최대 웨이퍼 반복성 (0.15) 을 제공합니다. 정전 용량 모델은 0.05 m 범위의 웨이퍼 위치를 감지하고 0.02 m의 반복 성을 제공합니다. 두 감지 시스템이 합쳐서 총 범위는 0.25zm, 정확도는 0.08zm입니다. TOKYO ELECTRON P 12 XLM은 또한 정확하고 효율적인 웨이퍼 프로브를 제공하는 고급 자동 레벨링 및 레벨링 제어 기능을 갖추고 있습니다. 웨이퍼 빈 처리 장비 (wafer bin handling equips) 는 또한 프로브 전에 웨이퍼를 사전 정렬하고 효율적인 웨이퍼 언로드/로딩을 허용합니다. 또한 P-12 XLM은 레이저 현미경 및 OBIRCH 클러스터링 기능을 포함한 광범위한 도량형 옵션을 제공합니다. OBIRCH 클러스터링 기능은 지형의 매개변수 (예: 높이, 입사각) 와 관련된 물리적 결함을 매핑할 때 높은 정밀도와 속도를 제공합니다. P 12 XLM (Open Architecture Design) 은 개방형 아키텍처 설계를 통해 소스, 검출기, 테스터, 다양한 분석 도구 등 다양한 제어 및 측정 주변 장치를 시스템에 통합할 수 있습니다. 따라서 다양한 운영 환경에 유연하게 적응할 수 있습니다. 전반적으로 P-12XLM은 대형 웨이퍼를 위해 설계된 고급, 정확하고, 적응력이 뛰어난 웨이퍼 프로버입니다. 첨단 감지 (Advanced Sensing) 및 자동 레벨 링 (Auto Leveling) 기술을 활용하고 광범위한 도량형 옵션을 제공하여 웨이퍼 및 구성 요소의 효율적인 분석을 용이하게 합니다.
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