판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLm #293609218
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293609218
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Wafer prober, 12"
Main power supply
Monitor
Stage:
Chuck top: Hot chuck
ASU Camera assy
X-Motor
Y-Motor
Z-Motor
X-DRV
Y-DRV
Z-DRV
SACC
Hot chuck controller
Board stage base Type2
X Stage board
Z Stage board
VIP3
TVB9003-1/136
TVB0004-1/147C0N
Loader:
Controller assy
Arm assy
Z-Motor
Theta motor
Serch sensor cylinder
VME Boards:
PST-OPT
PST I/F
PCB PST STD
MR-MC01-S100
Interface
GP-IB Interface
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLM은 반도체 웨이퍼 검사를 위해 특별히 설계된 전문 로봇 인 Prober입니다. 그립 암 (grip arm), 자동 웨이퍼 처리 장비 (automated wafer handling) 장비 및 고급 이미징 시스템을 갖춘 TEL P12XLM은 웨이퍼의 전기 및 물리적 특성을 검사하고 특성화하기위한 다양한 테스트를 수행 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON P 12 XLM은 X 축과 Y 축 모두에서 움직이고 360 ° 회전하는 웨이퍼 스테이지로 설계되었습니다. 스테퍼 모터를 사용하면 직경이 2 인치 ~ 300mm (12 인치) 인 크기에 비해 매우 정확한 위치를 제공합니다. 이를 통해 개별 다이 사이트로 정확하게 인덱스화 할 수 있으며, 자동 초점 및 조이스틱 제어 (joystick control) 작업을 통해 인상적인 0.1 ½ m 정확도로 웨이퍼를 조사하고 검사 할 수 있습니다. 또한 비디오 지원 탐색 (video aided navigation) 및 자체 학습 제어 시스템 (self-learning control systems) 은 전체 웨이퍼에 대한 결함을 인식하고 패턴을 등록 할 수있는 기능을 제공하여 매우 높은 수준의 전문화를 제공합니다. 또한, 이 프로버에는 멀티 프로브 어셈블리 스테이션 (multi-probe assembly station) 과 프로브 전환 및 제어를위한 여러 프로브 카드 (probe card) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 다른 테스트에 대한 여러 프로브 팁 (Probe Tip) 을 신속하게 전환할 수 있으며, 다양한 검사 시나리오에서 사용할 수 있습니다. 이 플랫폼에는 자동 작업 목록 (auto-task list), 자동 중단 프로세스 (auto-abort process), 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 등 여러 가지 다른 기능이 있습니다. 또한, TEL P-12XLm에는 전체 프로세스를 통해 안정적인 운영을 제공하기 위해 내장 된 안전 장치가 있습니다. 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼과 비상 전원 버튼을 모두 포함하면 우수한 보호 기능을 제공하며, 과압 보호 기계 (Over Pressure Protection Machine) 는 검사와 중요 부품을 모두 보호합니다. P-12 XLM은 반도체 웨이퍼의 품질을 보장하고 평가하기 위한 완벽한 도구입니다. 반도체 연구· 생산의 필수품이다. "명쾌한 정확성과 다기능 디자인 '이다.
아직 리뷰가 없습니다