판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9261695
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ID: 9261695
웨이퍼 크기: 8"-12"
Prober, 8"-12"
Stage technology: Ball screw
XY Probing accuracy: ±4.0 μm
Z Probing accuracy: ±5.0 μm
Probing force: 100 kg
Optical system: ASU/BCU-I
Operation system: VME.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL은 TEL이 개발 한 전문가입니다. 탁월한 성능, 효율성, 신뢰성을 제공하는 자동화된 Wafer Probing 장비입니다. TEL P12XL 은 Wafer Probing 의 정확도와 처리량을 향상시키는 데 사용되는 고급 Wafer 처리 방식을 제공합니다. 프로버 (Prober) 의 유연한 웨이퍼 전송 메커니즘은 스테이션 간 웨이퍼를 쉽게 이동하여 안정적이고 안정적인 프로브 프로세스를 보장하는 기능을 제공합니다. 프로버는 또한 높은 정밀 척 (chuck) 과 새로운 반환 속도 조정 메커니즘을 가지고 있으며, 깊은 초점과 정확한 조사를 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON P 12 XL (TOKYO ELECTRON P 12 XL) 에는 다양한 기판 및 기술 전반에 걸쳐 장치 특성을 정확하게 측정하기 위해 정교한 프로브 기술이 장착되어 있습니다. 프로버 (Prober) 는 확장 가능하도록 설계되어 다양한 웨이퍼 크기와 테스트 사이트를 통합 할 수 있습니다. 또한 스프링 프로브 (spring probe) 와 정전기 힘 프로브 (electrostatic force probe) 를 포함한 광범위한 웨이퍼 프로브를 지원합니다. 이 유연성은 프로브 (Probe) 가 기판의 배열 크기와 복잡성에 자동으로 맞춰 조정할 수 있게 함으로써 성능과 정확도를 높여줍니다. TEL P-12XL 은 시간 기반 (Time Based) 및 통계 테스트 등 다양한 측정 스타일을 지원하는 고급 데이터 분석 제품군을 제공합니다. 이 시스템은 활성 (active) 디바이스를 상세하게 평가하여 장애 위치 (Failure Location) 및 장애 감지 (Fault Detection) 기능을 제공합니다. 또한 수동 조정 기능을 통해 프로버의 해상도 (resolution) 및 강성 (stiffness) 설정을 손쉽게 조정할 수 있으므로 정확성과 반복성이 보장됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON P 12 XL의 고속, 고해상도 진공 장치를 사용하면 웨이퍼를 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 기계는 또한 Probe 시간을 줄이고 처리량을 크게 늘리도록 설계되었습니다. 또한, Prober는 Cleanroom 운영 및 데이터 보안 요구 사항을 지원하므로 모든 기술 애플리케이션에 대한 최고 수준의 규정 준수를 보장합니다. TOKYO ELECTRON P12XL은 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 조사를 달성하기위한 이상적인 선택입니다. 고급 (advanced) 기능, 뛰어난 정밀도 (exparision) 및 확장성 (scalability) 이 결합되어 다양한 어플리케이션을 위한 완벽한 도구입니다. 고급 감지 (Advanced Sensing) 메커니즘은 Probe가 정확하고 신뢰할 수 있도록 보장하는 반면, 강력한 데이터 분석 기능을 통해 포괄적인 분석 및 결함을 감지할 수 있습니다. P12XL 의 빠르고 안정적인 (F.A.S.T.) 작업을 통해 처리량 및 테스트 시간이 단축되어 강력하고 강력한 Wafer Prober가 됩니다.
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