판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9254690
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ID: 9254690
빈티지: 2005
Wafer prober
XY Probing accuracy: ± 4.0 μm
Z Probing accuracy: ± 5.0 μm
Optical system: ASU/BCU-I
Probing force: 100 kg
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL은 반도체 웨이퍼 프로빙 응용 분야에 사용되는 프로버입니다. 세부적이고 정확한 SEM 분석을 제공할 수 있는 다기능 (multi-functional) 의 대형비서다. 정밀 계측기 (precision instrumentation) 를 사용하여 높은 수준의 정확성과 안정적인 작동을 제공합니다. TEL P12XL은 고해상도, 7 축 로봇 조작기 암, 6 축, 양면, 자동 프로버 장비 및 완전 자동 구성 가능한 보안 테스트 환경으로 구성됩니다. 강력한 분석 기능을 통해 2D 및 3D 형식 모두에서 여러 웨이퍼를 한 번에 자동 웨이퍼 프로브 (wafer probing) 할 수 있으며, 정확도가 매우 높습니다. 프로버 (Prober) 는 최대 12 개의 샘플을 보유한 샘플 보유 용량을 가지며, 프로브 응용 프로그램에 비교적 큰 샘플 크기를 제공합니다. 6 축 조작기 암 (6-axis manipulator arm) 은 테스트 영역 내에서 샘플을 이동시켜 테스트 할 자동 프로버 (automated prober) 아래에 조심스럽게 배치하도록 설계되었습니다. 또한, 다양한 샘플 홀더 (sample holder) 와 프로버 헤드 (prober head) 를 사용하여 다양한 샘플 크기와 재료를 수용할 수 있습니다. 또한, 통합 비전 (vision) 및 데이터 캡처 시스템을 통해 장치 작동을 모니터링하고 원격으로 문제를 해결할 수 있습니다. 통합 소프트웨어 제품군은 wafer zoning, 블록 분석, 회로 분석, 통계 프로세스 제어 등 다양한 분석 툴을 제공합니다. 모든 데이터는 모니터링되어 보안 데이터베이스에 저장됩니다. TOKYO ELECTRON P 12 XL에는 고급 자동화 기능도 있어 맞춤형 애플리케이션을 위해 구성할 수 있습니다. 샘플 관리 머신 (sample management machine) 을 사용하면 여러 작업을 자동으로 설정하고 관리할 수 있으며, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 여러 테스트 시퀀스 (test sequence) 와 사용자 프로파일 (user profile) 을 쉽게 설정하고 제어할 수 있습니다. 각 작업의 구성 파일을 빠르고, 쉽게 업데이트, 업로드, 저장하여 나중에 사용할 수 있으므로, 빠르고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 이 Prober는 반도체 처리 및 연구에 적합하며, 정확하고 안정적인 데이터 처리, 분석, 모니터링 기능을 제공합니다. Wafer Probing 및 Testing 애플리케이션을 위한 유연하고, 안정적이며, 비용 효율적인 툴을 제공합니다.
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