판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9161955
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ID: 9161955
빈티지: 2002
Prober
Loader type: Left
Type (Hot / Cold): Hot
VIP: No
147CON: Yes (No HDD)
MR-MC01: Yes
316: Yes
PST-OPT: Yes
PST-STD: Yes
SIO: Yes
GPIB: Yes
FDD: Yes (Damaged)
Signal tower: Yes
Monitor: Yes
Display driver: Yes
Stage X motor: Yes
Driver: Yes
Stage Y motor: Yes
Driver: Yes
Stage Z motor: Yes
Stage theta motor: Yes
Chuck top: Yes
PT Sensor: Yes
Chuck vacuum solenoid : Yes
Sensor: Yes
Chuck camera: Yes
Bridge camera: Yes
Polish pad: No
Head plate inter-lock sensor: Yes
Shutter: Yes
Indexer Z axis motor: Yes
Indexer Z-axis belt: Yes
Cassette unit: Yes
Sub-Chuck top: Yes
Motor: Yes
Up / Down cylinder: Yes
Solenoid: Yes
Pincette (Upper): Yes
Motor: Yes
Driver: Yes
Pincette (Lower): Yes
Motor: Yes
Driver: Yes
Loader vaccum solenoid: Yes
Sensor: Yes
Wafer sensor: Yes
OCR Unit: No
SACC Unit: Yes
Control board: Yes
Cover inter-lock sensor: Yes
Shutter: Yes
Probe-card interface: Yes
Sensor: Yes
Manual switch: Yes
Hot chuck controller: Yes
Manipulator: No
Main power supply: Yes
Main air / Vacuum fitting: Yes
Main regulator unit: Yes
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL은 TEL 프로빙 시스템 제품군의 4 축 다목적 프로버입니다. 이 프로버는 반도체 제조, MEMS 및 광자 산업에서 볼 수있는 제품과 같은 웨이퍼 프로브 및 테스트 솔루션 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. TEL P12XL은 고급 팁 틸트 동작 제어 (tip-tilt motion control) 기능을 통해 다양한 모션 컨트롤을 구현하며, 헤드가 X, Y 및 Z축을 따라 완전히 이동하여 높은 처리량과 빠른 일반 프로브를 가능하게합니다. 또한 4축 동작 제어 (4축 motion control) 를 사용하면 헤드 및 동작 제어 축의 동작 (motion control axis) 으로 인해 데이터를 빠르게 획득하고 분석할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON P 12 XL의 프로브 헤드 (Probing Head) 는 200mm 길이의 전동 Z축 접근법을 사용하여 과속 시간을 줄여 프로빙 헤드에 대한 낮은 기계적 스트레스로 더 빠른 프로브를 완료 할 수 있습니다. 또한 P 12 XL에는 고유한 자동 스터비 (auto-stubby) 배선 장비가 장착되어 있어 수동 와이어 스터빙 (manual wire stubbing) 이 필요하지 않으며 연결 길이가 최고의 전기 성능에 최적화되어 있습니다. TOKYO ELECTRON P-12XL은 또한 매우 정확하고 정밀한 멀티 그리드 고정 정렬 시스템에 통합되어 있으며, 이는 로직 및 아날로그 회로 섹션, 메모리 섹션, 로직/아날로그 번들 섹션과 같은 다양한 웨이퍼 부분에 칩을 정렬 할 수 있습니다. 정렬 단위는 정렬 및 영역 표시 감지 (Area Mark Detection) 를 통해 0.1um의 높은 정밀도를 달성 할 수 있습니다. TEL P 12 XL은 또한 TOKYO ELECTRON-LNX Ver2.2 이상을 통해 제어 및 프로그래밍 할 수있는 그래픽 사용자 인터페이스를 특징으로하며, 설정, 보기, 로드 및 프로브 레시피 실행 등의 고급 도구를 제공합니다. 이것은 P12XL의 설정 및 작동을 촉진하는 데 도움이됩니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON 벡터 스캔 기술은 TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XL에 통합되어 다양한 제품에 대해 효율적이고 빠른 프로브를 할 수 있습니다. TEL P-12 XL은 반도체 제조 및 기타 산업 테스트 솔루션을 겨냥한 다재다능하고 강력한 전문가입니다. 통합 멀티 그리드 고정 정렬 기계, 200mm 장거리 전동 Z 축 접근 방식, 벡터 스캔 기술, 자동 스터비 배선 도구 및 4 축 동작 제어 조합을 통해 다양한 산업 용도에 높은 처리량, 정확도 및 정밀도를 제공합니다.
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