판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9142396
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ID: 9142396
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Automatic wafer prober, 12"
Top plate docking as drawing
Right open foup loader
12” Gold chuck unit
Interface: GPIB / RS232
200VAC, 50/60Hz, Single phase
Auto PAD alignment unit
Software version: R14 Series
WAPP
SACC
VIP3A CPU
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Prober는 대용량 반도체 장치 테스트를 위해 설계된 자동화된 고성능 Prober 장비입니다. 초정밀 자동 정렬 (Automatic Alignment) 단계가 장착되어 있어 수동 전문가보다 정밀하고 안정성이 뛰어납니다. 이 시스템은 또한 내장 오버 헤드 로더 (overhead loader) 를 갖추고 있어 고속 샘플 전송 및 정밀한 자동 정렬이 가능합니다. TEL P12XL 프로버 (TEL P12XL Prober) 는 완전히 자동화된 운영을 통해 인건비를 절감하고 측정 정확도를 향상시킵니다. TOKYO ELECTRON P 12 XL Prober는 정밀한 자동 정렬 및 샘플 전송을 위해 고속 로봇을 사용하는 완전 자동 장치 아키텍처를 갖추고 있습니다. 고정밀 모션 컨트롤을위한 정밀 X-Y 스테이지와 시각적 검사를위한 고해상도 광학 현미경을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 내장 오버 헤드 로더 (overhead loader) 를 가지고 있으며, 이는 샘플을 한 위치에서 다른 위치로 빠르게 전송하는 데 사용됩니다. P12XL Prober는 대용량 반도체 장치 테스트에 적합합니다. 즉, 샘플을 매우 정확하게 자동으로 정렬하여 다양한 반도체 장치 측정을 위한 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 툴은 또한 고속 샘플 전송 (sample transfer) 기능을 제공하여 디바이스 테스트에 소요되는 시간을 크게 단축합니다. 또한 내장 현미경은 측정 된 매개 변수가 정확한지 확인합니다. 이 자산은 정교한 분석 모듈 (analysis module) 을 통해 결과를 철저히 분석 할 수 있습니다. 안정적인 성능과 정확한 테스트 결과를 위해 P-12 XL Prober는 다양한 고급 기술을 사용합니다. 첨단 레이저 간섭계, 자력계, 가속도계, 카메라 (카메라) 의 조합으로 매우 정밀한 측정이 가능합니다. 또한 진공 척 (vacuum chuck) 과 선형 드라이브 (linear drive) 의 조합을 사용하여 부드럽고 정확한 동작 제어를 수행합니다. 이 모델에는 장치 분석 프로세스 (device analyzing process) 를 자동화할 수 있는 특수 소프트웨어가 장착되어 있어 테스트 결과를 신속하게 해석할 수 있습니다. 고급 기술과 정교한 기능의 조합으로 P 12 XL Prober는 대용량 반도체 장치 테스트에 적합합니다. 사용이 간편한 소프트웨어/분석 모듈 (Software and Analysis Module) 과 더불어 고정밀 정렬 기능을 통해, 장치 테스트 어플리케이션을 위한 안정적이고 효과적인 솔루션이 됩니다.
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