판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9131789
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ID: 9131789
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Prober, 12"
Gold
Hot
Head plate
Gas-spring on headplate
Standard monitor
WAPP-20K with brush
Card holder
Manipulator
Printer
Wafer table
SACC: 200/300
OCR: KLA P8-Zoom
Air and vacuum: Fitting
Monitor type: Standard
Boards:
147-CON
VIP3A
GP-IB
TVB9003-1316
PST-STD
PST-OPT
Loader driver
SIO
Frequency:
Standard: 50/60 Hz
Metric: 50/60 Hz
Single phase
200 V
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL 프로버는 IC 연구, 생산 및 R & amp; D 테스트에서 매우 정확한 두께 측정 및 유전체 저항 테스트를 위해 설계된 자동 웨이퍼 프로빙 머신입니다. 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스를 갖춘, 유연하고, 신뢰할 수 있는 고급 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 프로브 (Wafer Probing) 어플리케이션을 위한 완전 자동화되고 사용이 간편한 플랫폼을 제공하며, 정밀도가 높은 측정 및 분석을위한 세계에서 가장 작은 공기 격차를 포함합니다. TEL P12XL Prober는 빠르고 정확하며 반복 가능한 테스트 결과를 위해 완전히 투명한 플랫폼을 제공합니다. 이 프로버는 샘플 크기가 최대 150 밀리미터 인 IC를 측정하고 분석 할 수 있으며 8 인치 (200mm) 및 12 인치 (300mm) 웨이퍼도 처리 할 수 있습니다. 다양한 웨이퍼 로더와 통합 가능한 고성능 로터리 (rotary) 샘플 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 샘플 단계는 3축의 회전 (rotation) 에서 모두 이동하는 기능을 제공하여 뛰어난 위치 정밀도를 보장합니다. TOKYO ELECTRON P 12 XL 프로버에는 3 개의 프로브가 있으며, 그 중 2 개는 유전체를 측정하도록 설계되었으며, 마지막 프로브는 두께와 같은 물리적 특성을 측정하도록 설계되었습니다. 프로브는 5 축으로 이동 할 수 있으며, 미세한 피치 프로브 및 빠른 측정 샘플링이 가능합니다. 디지털 전압 조정기 (digital voltage regulator) 와 아날로그 전압 조절기 (analog voltage regulator) 를 비롯한 논리 입력은 넓은 전압 범위에서 유연성과 뛰어난 선형성을 제공합니다. P-12 XL 프로버에는 빠르고 정확한 두께 매핑 및 유전체 분석을위한 고급 도구도 포함되어 있습니다. 이 매핑 도구는 고급 이미징 알고리즘 (advanced imaging algorithm) 을 사용하여 레이어 두께에서 가장 작은 변형을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 외에도, 고유 한 광학 센서 장치 (optical sensor unit) 를 사용하면 레이어 두께의 변형을 매우 정확하게 수정할 수 있습니다. 이 도구에는 프로세스 자동화 및 최적화를 위한 강력한 자동 컨트롤러도 포함되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON P 12 XL 프로버는 고도의 정확성과 반복성이 필요한 웨이퍼 프로브 응용 프로그램을 위해 설계된 매우 강력한 기계입니다. 신뢰할 수 있는 성능과 편리한 툴을 갖춘 이 Prober는 IC Research, Production 및 R & amp; D 테스트에 적합합니다. 이 툴은 탁월한 제어 및 유연성을 제공하며, 테스트 시간과 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다.
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