판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9102643
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TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Prober는 반도체 산업에 사용되는 다양하고 신뢰할 수있는 자동 검사 장비입니다. 반도체 장치 웨이퍼, 패턴 웨이퍼 및 마스크 스텝 서피스, 패키지 리드 프레임의 정확하고 정확한 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 프로버에는 대형 공랭식 X-Y-Z 스테이지와 웨이퍼, 마스크 또는 리드 프레임을 지원하고 포지셔닝하기위한 2 개의 회전식 전동 척 (chuck) 이 있습니다. X-Y-Z 스테이지는 X 축과 Y 축 모두에서 X 축에서 최대 2mm 범위와 높은 해상도 인 0.1õm (Z축) 의 위치를 지정하기 위해 제어되고 정확한 동작을 제공합니다. 프로버 (Prober) 에는 기판을 프로 베르 스테이지에 정확하게 적재 할 수있는 비전 정렬 장비 (옵션) 도 장착되어 있습니다. 신뢰성 있고 반복 가능한 측정을 위해 TEL P12XL 프로버 (TEL P12XL Prober) 에는 고해상도 진동 격리 시스템 (High Resolution Vibration Isolation System) 이 장착되어 Prober 결과의 정밀도에 대한 외부 진동 및 온도의 영향을 줄입니다. 프로버는 또한 높은 정확도 각도 반복성 인 0.007례의 완전 교정 로터리 유닛을 포함한다. 게다가, "프로 '는 측정 주기 에" 프로' 의 안정성 에 대한 피드백 을 제공 하고 자동 유지 를 가능 케 하는 위치 안정성 "모니터 '를 갖추고 있다. 다운타임을 최소화하고 장치 테스트를 효율적으로 자동화할 수 있도록 TOKYO ELECTRON P 12 XL Prober는 모든 고급 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. Prober에는 진단 기능이 내장된 통합 모니터링 장치 (Integrated Monitoring Unit) 가 포함되어 있어 Prober 성능을 지속적으로 모니터링하고 관리할 수 있습니다. 예를 들어, 기계는 비정상적인 기계 이동, 온도 변화, 진공 또는 가스 흐름을 감지하고 교정 동작을 제공 할 수 있습니다. 또한 Prober의 제어 도구 (Control Tool) 는 사용자가 작업을 제어 및 모니터링할 수 있도록 시각화 플랫폼을 제공합니다. 사용자는 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 여러 작업 (job) 과 프로그램 (program) 을 설정할 수 있으므로 복잡한 검사 및 측정 루틴을 사용할 수 있습니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON P 12 XL Prober는 필요에 따라 통합 할 수있는 다양한 청소 및 처리 옵션을 포함하여 프로세스 유연성 및 신뢰성을 위해 제작되었습니다. 프로버 (Prober) 는 장기간 안정적이고 경제적인 성능을 제공하도록 설계되어, 안정적이고 생산적인 검사 도구를 찾는 모든 반도체 (Semiconductor) 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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