판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9102059
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ID: 9102059
웨이퍼 크기: 12"
Prober, 12"
Hot Chuck Unit(Gold or Nickel)
Top Plate Assy
VIP3 CPU with R14 Series O/S
Open Type Foup Loader.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL 프로버는 다양한 유형의 샘플 기판을 조사하기 위해 특별히 설계된 강력한 다기능 장치입니다. 고급, 고진공 플랫폼, 특허를 획득한 자가 정렬 웨이퍼 암 (wafer arm) 을 활용하여 최고 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. 팔은 전체 300mm 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 정확한 모션 제어를 위해 스테퍼 모터로 구동됩니다. TEL P12XL (TEL P12XL) 에는 고해상도 디지털 이미지 센서로 Probe 매개변수와 웨이퍼 조작을 구성할 수있는 FEM 샘플 흥분 장비가 있습니다. 차세대 플랫폼 (platform platform) 은 컨택트 신뢰성을 높이고 Probing Force 수준을 줄여 흥분 유발 샘플 결함을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한, 시스템은 측정 자신감을 높이기 위해 연락처 확인 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 온도 조절 샘플 환경, 다중 디스크 위치 및 원형 황삭 (circular roughing) 도 포함됩니다. 제어 프레임워크 (Control Framework) 는 사용자 조정 가능한 고급 프로그래밍을 제공하여 Probe 매개변수와 설정을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 고해상도 컬러 디스플레이를 통해 실험을 쉽게 보고 구성할 수 있으며, 직관적인 GUI (Graphic User Interface) 를 통해 워크플로의 효율성을 높일 수 있습니다. 다양한 응용 프로그램에는 웨이퍼 레벨 결함 검토, 웨이퍼 정렬, 칩 모서리, 코너, 일반 검사가 포함됩니다. 고성능 프로빙 기능 외에도 TOKYO ELECTRON P 12 XL은 다양한 다른 기능을 제공합니다. 외부 직경의 트리밍 및 형성 기능을 제공하여 Probe 성능을 최적화합니다. 이 기계는 또한 옵토 (opto) 전자 샘플 포지셔닝 도구를 갖추고 있으므로 수동 웨이퍼 정렬이 필요하지 않습니다. 또한 온보드 전자 환경 제어 모드 (Onboard Electronic Environment Control Mode) 는 향상된 이미지 품질을 제공하며 Probing 시간을 단축합니다. 전반적으로 P12XL은 기판을 조사하기위한 사용자 친화적이며 비용 효율적인 솔루션입니다. 고급 자산은 모듈식 설계와 직관적인 GUI 덕분에 강력하고 안정적인 성능을 제공합니다 (영문). 고성능 프로빙 기능과 다양한 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON P-12XL (TOKYO ELECTRON P-12XL) 은 반도체 업계의 생산성 향상을 위한 강력한 도구입니다.
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