판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9089358
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ID: 9089358
빈티지: 2006
Automatic probe station
Chuck type: Gold hot and cold, 12"
Cold temperature: -40°C to 150°C
CPU Type: VIP3
Manipulator
Chiller D230
No RS232
GP-IB
No WAPP
No OCR
Ambient
SACC
Hinge manipulator
Head mount
Bracket and card interface kit for Ultraflex
Wafer loader: Right
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Prober는 다양한 분야의 연구 개발을 위해 설계된 고급형 다기능 재료 측정 장비입니다. 이 시스템은 박막 (Thin Film) 샘플을 높은 정확도로 측정할 수 있으며, 연구를 지원할 수있는 다양한 고유한 기능을 제공합니다. TEL P12XL에는 특수한 고해상도 이미징 장치가 장착되어 있어 측정의 정확성과 반복성이 보장됩니다. 이미징 머신은 프로브 헤드 (probe head), 마이크로 모양 센서 (micro-shape sensor) 및 분광계 (spectrometer) 로 구성되어 미량 요소 구성 및 굴절률과 같은 박막 샘플의 다른 물리적 특성을 감지합니다. TOKYO ELECTRON P 12 XL은 또한 멀티 스테이지 대상 추적 메커니즘을 사용하여 마이크로 사전 정의 측정 영역 내에 프로브 헤드를 정확하게 배치합니다. 프로브 헤드는 표면 거칠기 평가, 표면 평균 거칠기 측정, X- 선 두께 측정, X- 선 반사도 측정, X- 선 회절 분석 및 표면 분석과 같은 광범위한 박막 측정을 위해 설계되었습니다. 고정밀 이미징 도구 외에도 TEL/TOKYO ELECTRON P12XL에는 강력한 다단 응력 감지 센서가 장착되어 있습니다. 이 자산은 재료 표면에서 처리 또는 응력으로 인한 균주를 감지하고 박막 샘플에서 최대 10-8 미크론의 PV 히스테리시스 (hysteresis) 의 정확도로 측정 할 수 있습니다. 응력 탐지 센서 (stress detection sensor) 는 표면 응력 작동의 광범위한 적용 범위를 위해 다양한 표면 물질로 준비됩니다. TOKYO ELECTRON P-12XL은 또한 높은 안정성과 반복 성을 제공하는 특별히 설계된 재료 프로브를 사용합니다. 이 프로브 (Probe) 는 표면의 팽창 (surface expansion) 이나 수축 (contraction) 과 같은 샘플의 변형 또는 관심 영역에서 샘플의 부분 변형을 감지 할 수 있습니다. P-12XL은 또한 고정밀 온도 컨트롤러 (high-precision temperature controller) 를 갖추고 있어 정확한 측정으로 인해 온도가 넓습니다. 이러한 모든 기능을 결합하여 P-12 XL의 고성능 측정과 탁월한 데이터 재현성을 제공합니다. TEL P 12 XL은 장기 및 단기 측정 및 고온 이벤트를 모두 처리 할 수 있습니다. 그런 다음, 이 모델과 함께 수행한 모든 측정은 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 로 처리되며, 이를 통해 사용자는 데이터를 쉽게 이해할 수 있습니다. 이 장비에는 표준 자료 라이브러리 (Library of standard materials) 도 포함되어 있으며, 사용자들은 해당 샘플의 관련 데이터를 허용되는 벤치마크 데이터와 쉽게 비교할 수 있습니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON P 12 XL Prober는 연구 개발을 위해 설계된 고급 재료 측정 시스템입니다. 이 장치는 박막 샘플을 정확하게 측정 할 수 있으며, 고해상도 이미징 머신, 멀티 스테이지 대상 추적 메커니즘, 응력 감지 센서, 고정밀 온도 컨트롤러 등 다양한 기능을 제공합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 표준 자료의 라이브러리 (Library of Standard Materials) 를 통해 사용자는 데이터를 쉽고 빠르고 쉽게 비교할 수 있습니다.
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