판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293815997
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ID: 293815997
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2002
Prober, 8"-12"
Loader
(2) Front Opening Unified Pods (FOUP)
No D250 chiller
No boot
2002 vintage.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Prober는 고속 웨이퍼 레벨 테스트를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 프로빙 장비입니다. TEL P12XL은 최대 12 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 테스트할 수 있으며, 최대 12 개의 프로브를 처리하여 단일/추가 데이터 포인트 처리량 테스트를 수행합니다. 다양한 애플리케이션의 다양한 조합에 대해 Probe를 구성할 수 있습니다. 이 시스템은 수직, 수평, 회전 동작을 갖춘 신뢰성이 높은 프롤러 암 (Prober Arm) 을 갖추고 있어 정확하고 반복 가능한 위치 지정 및 이동으로 프로브 테스트를 수행할 수 있습니다. 통합 수직, 수평, 회전 단계 메커니즘은 크기와 모양이 다른 웨이퍼를 테스트 할 때 높은 정확도와 반복 성을 제공합니다. 또한이 장치는 반복 가능한 포지셔닝 및 서보 피드백 (servo feedback) 을 갖춘 고해상도 마이크로 스테핑 컨트롤을 통해 고정밀 프로브 결과를 제공합니다. TOKYO ELECTRON P 12 XL (TOKYO ELECTRON P 12 XL) 은 자동 자가 조정 기능을 포함하여 최적화된 작동으로 가동 시간을 줄이고 가동 중지 시간을 줄여줍니다. 이 장치는 진동을 흡수하고 음향 잡음을 최소화하여 조용하고 일관된 작동을 보장하는 통합 진동 방지 댐퍼 (anti-vbration damper) 를 특징으로합니다. 프로버 (Prober) 의 통합 환경 제어기 (Environmental Control Machine) 는 웨이퍼 안정성을 유지하고 테스트 중 습도 유발 장애를 줄이기 위해 설계되었습니다. 텔/도쿄 전자 P12XL (TEL/TOKYO ELECTRON P12XL) 에는 지정된 온도에서 웨이퍼를 유지하는 도구 내 히터가 포함되어 있어 장치의 성능 정확성을 보장합니다. 이 자산에는 외래 입자를 제거하고 테스트 결과의 반복성을 향상시키기 위해 효율적인 공기 여과 (air filtration) 및 먼지 수집 (dust collection) 모델이 장착되어 있습니다. 마지막으로, P-12XL (Closed Loop Control) 기술을 통해 프롤러 암 및 스테이지의 속도를 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 닫힌 루프 피드백 제어 장비 (closed loop feedback control equipment) 는 스테이지 메커니즘의 위치를 모니터링하고 조정하여 정확하고 반복 가능한 위치 지정 및 이동을 수행합니다. 또한, 이 시스템에는 자동 웨이퍼 포지셔닝, 테스트 및 결과 인쇄를 위한 고급 소프트웨어 도구가 포함되어 있습니다. 이러한 기능은 환경적, 기계적 충격에 대한 장치의 기본 보호 기능과 함께, 뛰어난 반복성과 신뢰성을 통해 정확한 웨이퍼 (wafer) 조사를 가능하게 합니다.
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