판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293618550
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TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL 프로버는 반도체 웨이퍼의 성능과 신뢰성을 보장하기 위해 반도체 제조 산업에 사용되는 정밀 도구입니다. 프로버 (Prober) 는 3 단계 온도 조절 시스템을 사용하는 작동 장비를 사용하며, 3 개의 독립적 인 온도 센서를 사용하여 넓은 웨이퍼 영역에 비해 높은 정밀도와 정확도를 제공합니다. 이 장치는 또한 1000mm x 800mm (1000mm x 800mm) 의 넓은 가용 면적을 가지며, 프로버가 추가로 처리되기 전에 웨이퍼의 잠재적 결함 및 불규칙성을 검사하고 확인할 수 있습니다. TEL P12XL 프로버 (Prober) 는 고정밀도 스테이지 제어와 정확도를 갖추고 있어, 잘못된 정렬 없이 넓은 영역에 대한 결함 인식 및 측정 정확성을 보장합니다. 스캐닝 및 프로세스 제어를 위해 XY, UV 및 5 축 단계를 가지며, XY-Drive 위치 반복성은 0.01äm, Z-Drive 위치 반복성은 0.001äm입니다. 또한, 프로버는 넓은 면적에서 ± 0.01mm의 위치 정확도를 가지며, 결함 매핑에 필수적입니다. TOKYO ELECTRON P 12 XL 프로버에는 자동 결함 인식 및 수리를위한 고급 실시간 추적 머신도 있습니다. 이 도구는 하드웨어 및 소프트웨어 손상 인식, 2D 레이저 및 3D 스캔, 고해상도 이미징 자산 등을 활용한 신속한 결함 감지 (fast defect detection) 프로세스를 지원합니다. 따라서 "웨이퍼 '에 있는 모든 결함 이 신속 하고 정확 하게 밝혀져, 어떤 결함 조건 이나 불규칙성 에 대하여, 그 들 이 신속 히 반응 을 보일 수 있다. TEL P-12 XL 프로버 (Prober) 는 반도체 제조 프로세스에 이상적인 도구로서, 반도체 웨이퍼의 신뢰성과 성능을 보장하기 위해 높은 정확성과 정밀도를 제공합니다. P-12 XL 프로버 (Prober) 는 고급 실시간 추적 모델과 정밀 스테이지 제어를 통해 잠재적인 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 파악할 수 있으므로 반도체 제조 품질 제어를 위한 귀중한 도구입니다.
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