판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 78S #9354471

TEL/TOKYO ELECTRON 78S는 다양한 반도체 장치의 전기 특성을 검사하도록 설계된 비접촉 프로버입니다. 연구개발 (R&D) 에서 공정 (process) 제어에 이르는 모든 단계의 생산 및 검사 프로세스에 적합합니다. 빠른 설치 (Quick Installation), 높은 정확도 (High Accuracy) 등의 기능을 통해 엔지니어와 실험실 기술자에게 이상적인 툴이 될 수 있습니다. TEL 78S는 메인프레임과 통합 도량형 장비의 두 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 메인프레임에는 고해상도 카메라, 컬러 LCD 패널, 비디오 레코더 및 16 비트 마이크로 프로세서가 장착 된 XY 단계를 포함하여 Prober의 핵심 구성 요소가 있습니다. XY-stage는 모든 방향으로 최대 25mm (25mm) 의 이동을 통해 장치 크기 및 위치를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 컬러 LCD 패널은 검사 결과를 쉽게 관찰할 수 있고, 비디오 레코더는 각 검사 테스트의 아카이브를 제공합니다. 한편, 통합 도량형 시스템은 단위 수준 AFM (원자력 현미경), 정전기 방전 (ESD) 검출기, 정전기 검출기, 유전체 잔기 테스터 및 열 이미저를 포함한 여러 센서로 구성됩니다. AFM은 마이크로 스케일 이미징 기능을 제공하며, 이를 통해 장치 매개변수를 나노 미터 해상도까지 측정할 수 있습니다. ESD 검출기는 우발적 정적 방전을 감지하여 샘플 파괴 또는 손상 장비를 예방할 수 있습니다. 커패시턴스 검출기 (capacitance detector) 는 장치의 전기 특성을 측정하기 위해 사용되며, 유전체 잔기 테스터 (dielectric residue tester) 는 표면의 분자 수준 잔기를 검출한다. 마지막으로, 열 이미저는 가시적 파장과 적외선 파장에서 동시 영상을 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON 78 S의 모든 구성 요소는 쉽게 작동하기 위해 GUI (Graphical User Interface) 에 의해 제어됩니다. 이 Prober에는 이미지 처리 라이브러리 (Image Processing Library) 가 추가되어 자동화된 세그멘테이션 (Segmentation) 및 피쳐 추출 (Feature Extraction) 과 같은 자동 데이터 분석 기능을 제공합니다. 요약하면, TEL/TOKYO ELECTRON 78 S는 반도체 장치 검사 및 특성화에 사용될 수있는 신뢰할 수 있고 정확한 Prober 장치입니다. 종합적인 도량형 머신 (Metrology Machine) 과 고급 이미지 처리 라이브러리 (Image Processing Library) 가 장착되어 있어 엔지니어 및 실험실 기술자에게 필수적인 도구입니다.