판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 78S #9114134

TEL / TOKYO ELECTRON 78S
ID: 9114134
Auto prober.
TEL/TOKYO ELECTRON 78S (TE TEL 78S) 는 웨이퍼 프로브로 알려진 웨이퍼 프로브를 위해 설계된 프로버입니다. 이 Prober는 Electrical Parameter Testing, Device Characterization, Electrical Reliability Testing 등 다양한 Wafer Probing 응용 프로그램을 수행 할 수 있습니다. TE TOKYO ELECTRON 78 S는 매우 정밀하게 설계되어 DRAM, CMOS 장치 등 실리콘 웨이퍼의 다양한 구성 요소를 빠르고 정확하게 테스트 할 수 있습니다. Prober의 주요 기능은 3축 포지셔닝 기능입니다. 이를 통해 다양한 테스트 응용프로그램을 위한 다양한 전기연결용 프로브 (Probe) 를 포지셔닝할 수 있다. 와이퍼 표면의 평면 변형을 보완하는 DRPS (Dual Reference Probing Equipment) 를 사용하여 테스트 구조와 프로브의 정확한 접촉을 허용합니다. 즉, 전체 Probe 프로세스에서 Contact Bouncing (컨택트 바운싱) 을 줄이고 좋은 Contact (접촉) 를 보장함으로써 주기 시간이 짧고 데이터 정확도가 향상됩니다. TE 78 S는 포지셔닝 시스템 외에도 최상위 프로브 위치의 X, Y 및 Z 축과 미세 조정을 위한 R 및 P 축을 포함한 5 개의 모션 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼 위에 직관적이고 반복 가능한 프로브 (probe) 설정을 사용할 수 있으므로 정확도와 반복 가능성이 향상됩니다. 최대 25mm/sec의 다양한 속도 (해상도 0.1 um) 를 지원할 수 있습니다. TE TEL/TOKYO ELECTRON 78 S에는 프로그래밍 가능한 고전압 보호 장치 및 정렬 스캐너 (옵션) 를 포함한 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 방호기계 (Protection Machine) 는 프로브를 통해 정확한 양의 전류를 흐르게 하며, 장치의 손상을 방지하고, 테스트 인력을 전기 충격으로부터 보호합니다. 정렬 스캐너 (Alignment Scanner) 는 테스트 구조에 따라 프로브를 정렬하여 접촉 실패 (Contact Failure) 와 주기 시간을 줄이는 고속 비전 도구입니다. TE TEL 78 S에는 건조 자산, 자동 오류 복구 모델 (옵션), 데이터 수집 장비 (내장) 등 보조 지원 시스템도 장착되어 있습니다. 건조 장치 는 가열 된 질소 "가스 '를 사용 하여 어떤 시험 을 하기 전 에" 웨이퍼' 로부터 수분 을 건조 시키는 한편, 복구 장치 는 "테스트 '결과 에 영향 을 주기 전 에" 프로빙' 과정 의 오류 를 감지 하고 수정 한다. 데이터 획득 기계는 전압, 전류, 커패시턴스 (capacitance) 와 같은 매개변수를 테스트할 수 있습니다. TE TOKYO ELECTRON 78S는 강력하고 다양한 웨이퍼 프로버로, 정확하고 정확한 웨이퍼 프로브 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 다양한 테스트 요구사항에 적합하며, 신뢰성과 정확성을 제공합니다 (영문). TE 78S는 까다로운 테스트 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.
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