판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 20SR #9132511

TEL / TOKYO ELECTRON 20SR
ID: 9132511
빈티지: 1984
Prober, 1984 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON 20SR은 다양한 반도체 회로 및 재료에 대한 웨이퍼를 조사하기위한 정교한 전문가입니다. 스캐닝 면적이 최대 200mm 인 독특한 양면 스캐닝 장비를 사용합니다. 또한 고급 패턴 매칭 시스템 (pattern matching system) 을 사용하여 반도체 제조 데이터를 신속하게 분석하고 더 조사해야 할 결함을 확인할 수 있습니다. Prober는 다양한 스캐닝 옵션과 고급 (Advanced) 기능을 제공하여 최고의 정확도와 제어를 제공합니다. TEL 20SR에는 스캐너 헤드 위에 XY 테이블 (XY table) 이 있으며, 이를 통해 다양한 모션과 일련의 프로브 팁 및 시스템이 가능합니다. 이 장치는 직접 및 스캔 온도학, 레이저 간섭법, 전기 프로브 등 최대 8 개의 프로브 시스템을 사용합니다. 스캐닝 헤드는 XY 테이블보다 훨씬 크고, 스캐닝 속도와 해상도를 최적으로 제공합니다. 또한 전기적 저항성 측정 시스템 (Electrical Resistivity Measurement System) 이 내장되어 있어 사용자가 다른 재료의 저항이나 이득을 측정하고 비교할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON 20 SR 은 매우 정확하며 Wafer 내에서 Contact 및 Data Point 를 자세히 시각화할 수 있습니다. 또한 "칩 '을 손상 시키지 않고 기계 내 에 배선 을 매핑 하고 연결 을 판별 할 수 있다. 레이저 빔 (laser-beam) 도구는 반사 서피스를 통해 스캔하여 웨이퍼의 밑면을 검사 할 수도 있습니다. 20 SR은 매우 효율적인 전문가이며 사용하기 쉽습니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으므로 대용량 데이터 포인트와 소용량 데이터 포인트에 모두 사용할 수 있습니다. 또한 다중 축 스테퍼 모터 (Multi-Axis Stepper Motor) 및 패턴 인식 시스템 (Pattern Recognition System) 과 같은 다양한 고급 기능이 장착되어 있어 최고의 정확성과 제어를 보장합니다. 그것 은 견딜 수 있고, 온도 가 낮고, 습도 가 낮아, 혹독 한 환경 에서도 작동 할 수 있도록 만들어졌다. 20SR 은 "반도체 '생산 및 설계 의 필수적 인 부분 이 되었으며, 이 탐사선 은 가능 한 최단 시간 내 에 완전 한 결함" 이미지' 를 신속 히 생성 할 수 있게 해 준다. "반도체 '제조 의 급속 한 발전 을 촉진 시켰으며, 연구가 들 이 결함 과 분석 을 위하여" 웨이퍼' 를 조사 하는 혁신적인 방법 을 탐구 할 수 있는 가능성 을 열었다.
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