판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 20SR #9132501
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TEL/TOKYO ELECTRON 20SR (TEL/TOKYO ELECTRON 20SR) 은 생산 환경에서 웨이퍼를 자동으로 조사하는 데 사용되는 프로 버 유형입니다. 반도체 생산과 관련된 중요한 단계를 수행하는 데 사용됩니다. TEL 20SR에는 정확하고 효율적인 웨이퍼 프로브를 위해 고급 기술이 장착되어 있습니다. 도쿄 전자 20 SR (TOKYO ELECTRON 20 SR) 에는 지정된 위치에 웨이퍼를 정확하게 정렬하기 위해 동력 무대와 함께 작동하는 광학 정렬 장비가 있습니다. 이 효율적이고 정확한 정렬 시스템은 3 온에 대해 15 미크론의 프로빙 정확도를 달성합니다. 이 스테이지는 빠르고 정확한 XY 및 Z 동작을 가능하게 하는 고성능 컨트롤러 (HPC) 에 의해 구동되며, 이를 통해 웨이퍼의 위치가 정확하고 반복 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON 20 SR에는 높은 프로브 정확도와 안정성을 제공하도록 설계된 자동 프로브 장치도 있습니다. 이 기계는 Probe Bed 주위에 장착된 여러 개의 센서로 구성되어 Probe 팁을 감지하고 식별합니다. 단일 축 동작 제어 도구 (single-axis motion control tool) 는 정확한 프로브를 위해 샘플과 접촉하면서 프로브 핀을 제어하는 데 사용됩니다. 20 SR에는 통합 진공 측정 자산과 멀티 포인트 전압 모니터링 모델도 장착되어 있습니다. 진공 측정 장비는 조사 작업 중 프로 버 챔버 (Prober Chamber) 의 진공 수준을 모니터링하고 기록합니다. 멀티 포인트 전압 모니터링 시스템 (multi-point voltage monitoring system) 은 단일 측정 주기로 모든 핀의 전압을 모니터링하여 사용자가 모든 전압 이상을 감지할 수 있도록 합니다. 또한 여러 소스 RF 장치, 두꺼운 웨이퍼 키트 (Thick Wafer Kit) 및 기타 품목과 같은 다양한 액세서리로 20SR을 구성하여 기능을 높이고 성능을 향상시킬 수 있습니다. TEL 20 SR 은 통합된 설계와 구성을 통해 생산 환경에서 다양한 종류의 웨이퍼 (wafer) 를 신속하고 정확하게 조사하여 생산량이 많아지고 반도체 제품의 신뢰성이 향상되었습니다 (영문).
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