판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 20S #9069027

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON 20S는 반도체 생산을 위해 설계된 수동 다이 프로버입니다. 이 프로버는 반경이 5 미크론 인 40 x 40 밀리미터 캔틸레버 암과 2 미크론 이하의 균일 한 정적 및 동적 평탄도를 특징으로합니다. 암은 5 밀리미터 두께의 스테인리스 스틸 (stainless steel) 프레임에 장착되어 있으며 수직 및 수평 안정기로 더욱 강화됩니다. 분리 및 독립적으로 작동 가능한 2 개의 5 축 모터 스테이지는 0.00017 도의 해상도로 작동합니다. 이 프로버에는 샘플 로딩 시스템, 진공 레벨 링 웨이퍼 스테이지, 3D 현미경 및 레이저 정렬 시스템이 장착되어 있습니다. TEL 20S는 5 개 축 모두에서 0.1 미크론 이하의 뛰어난 모션 정확도와 반복 성을 제공합니다. 조절 가능한 샘플 홀더 및 레벨러는 15mm-215mm 웨이퍼와 최대 12 마이크로 미터의 리프트를 지원할 수 있으며, 효율적이고 정확한 샘플 크기 감지 및 정렬을 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON 20S는 또한 다중 영역 온도 제어를 사용하여 일상적인 테스트 및 RTP (Rapid Thermal Processing) 를 지원합니다. 샘플과 히터, 척, 웨이퍼의 세 가지 영역으로 작동합니다. 프로버는 압력, 변위, 전압, 시간, 온도 등 다양한 프로그래밍 가능한 매개 변수를 가지고 있습니다. 20S는 안정성과 성능을 염두에 두고 설계되었습니다. 경량 프레임 (lightweight frame) 은 진동 간섭을 방지하며, 강제 환기 시스템은 공기 미립자 오염을 최소화하기 위해 고속 저 층류 (low laminar flow) 로 설계됩니다. 빠르고 고정밀 모션 제어를 위한 FPGA (Field Programmable Gate Array) 가 특징입니다. TEL/TOKYO ELECTRON 20S는 또한 몇 가지 안전 기능과 충분한 내장 테스트 및 측정 기능으로 설계되었습니다. 프로버는 온도를 -60 ° C 및 최대 + 400 ° C까지 제어 할 수있는 효율적인 열 제어 시스템을 제공합니다. 마지막으로, 간편하면서도 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 쉽게 작동하고 구성할 수 있습니다.