판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 19S #9283180

TEL / TOKYO ELECTRON 19S
ID: 9283180
Probe station.
TEL/TOKYO ELECTRON 19S는 웨이퍼 처리 장비와 정밀 측정 시스템의 조합 인 Prober입니다. 반도체 장치 제조 공정의 중요한 사진 분석 단계에서 사용됩니다. 프로버 (Prober) 는 웨이퍼의 위치를 몇 마이크로 미터 이내로 제어하고 웨이퍼의 전기 및 물리적 특성을 정확하게 측정 할 수있다. TEL 19S는 반도체 소자 제조에서 생산 라인 사용을 위해 설계된 소형 장치입니다. 8 인치 웨이퍼 처리 머신 (wafer handling machine) 과 2 축 커패시턴스 척 (capacitance chucking) 도구를 장착하여 웨이퍼 위치의 정확도를 2jm 이하로 조정할 수 있습니다. 프로버 (Prober) 는 웨이퍼 표면의 지형과 웨이퍼의 광학, 전기, 물리적 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 특히, 접촉 저항, 접합 커패시턴스 (junction capacitance), 소스 및 드레인의 저항, 쇼트키 배리어 높이 (Schottky barrier heights) 및 기타 많은 전기 특성과 같은 웨이퍼의 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. 도쿄 전자 19 S (TOKYO ELECTRON 19 S) 에는 웨이퍼 특성을 자동으로 측정 할 수있는 다양한 소프트웨어 프로그램이 장착되어 있습니다. 프로버 (Prober) 는 또한 웨이퍼 매핑 (Wafer Mapping) 프로그램을 갖추고 있으며, 이는 생산 효율성을 높이기 위해 웨이퍼의 특성을 측정하고 신속하게 분석하는 데 사용됩니다. 프로버 (Prober) 의 소프트웨어는 또한 균일성이 부족한 웨이퍼 영역을 식별하는 데 도움이 되는 거짓 (False-color) 맵을 생성할 수 있습니다. TEL 19 S는 신뢰할 수 있고 다양한 기능으로, 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 메모리 칩, 로직 칩, 평면 디스플레이 (flat panel display), 기타 유형의 장치 등 다양한 반도체 장치를 측정하는 데 적합합니다. 장치 테스트 및 실패 분석에도 사용할 수 있습니다. 이는 "정확성 '과" 신뢰성' 으로 시중에서 가장 뛰어난 프로버 중 하나로 꼽힌다.
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