판매용 중고 SPEA 4020 #9218788

SPEA 4020 (SPEA 4020) 은 매우 어려운 응용 프로그램에서 기판을 정확하고 강력하게 조사 할 수 있도록 설계된 최첨단 고정 프로버입니다. 프로버 (Prober) 는 높은 처리량, 멀티 사이트 또는 웨이퍼 레벨 프로브에 맞게 맞춤 될 수있는 유연한 모듈 식 바디를 특징으로합니다. 4020은 매우 견고한 구조를 가지고 있습니다. 베이스 플레이트는 최적의 이미징 및 환경 안정성을 위해 광학적으로 평평한 화강암 표면을 특징으로합니다. 기판 조작에 사용되는 정밀 슬라이드의 모음은 토폴로지 (topology) 와 틸트 (tilt) 의 변형이 큰 매우 광범위한 기판을 위해 설계되었습니다. 슬라이드의 하위 미크론 정확도는 뛰어난 웨이퍼 정렬 안정성과 반복 성을 보장합니다. 이 프로버는 속도, 정확도, 환경 관용 (Environmental Tolerance) 을 염두에 두고 설계된 일련의 터치 응답 모터로 구동됩니다. 모터 범위는 최대 0.07's 속도를 제공하는 반면, 단일 축 스테핑 모터는 최대 170 미크론 정확도를 제공합니다. 모터 드라이브 (motor drive) 의 모듈식 설계를 통해 여러 드라이브 모드를 사용할 수 있으며, 다양한 기판 조작 작업에 적응할 수 있습니다. 프로버 (Prober) 에는 모든 축에 대해 독립적이고 동시에 제어할 수 있는 고급 자동화 시스템 (Automation System) 이 있으며, 각 축에 서로 다른 모터 유형을 할당할 수 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 수동으로 프로그래밍하거나 RS-232, Ethernet, Ethernet, Ethernet/Modbus 등의 외부 프로그래밍 인터페이스에 연결할 수 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 설치 및 오류 복구가 쉽고, 복잡하고 정확한 Prober 애플리케이션에 적합합니다. SPEA 4020에는 어플리케이션 유연성을 위해 다양한 맞춤형 전자 모듈이 장착되어 있습니다. 모듈식 인터페이스 아키텍처 (Modular Interface Architecture) 는 여러 가지 유형의 Prober Electronic을 지원하므로 동일한 Prober 플랫폼에 다른 기능을 통합 할 수 있습니다. 또한 다른 현미경 유형, 영상, 전기 매개변수 측정을 위해 서로 다른 현미경 유형과 인터페이스 할 수 있습니다. 호환성 측면에서 4020은 SEMI 표준 서비스, E-Beam, Z-Tilt, Wafer Gap, Wafer Shifting 및 XY-Tilt를 포함한 광범위한 테스트 및 측정 기술을 작동하도록 제작되었습니다. Pulser, MCD, UAS, Frame, AOI 및 Pick & Place와 같은 다양한 로봇 시스템과 호환됩니다. SPEA 4020은 뛰어난 안정성과 내구성을 제공하도록 설계되었습니다. 모든 부품, 모터, 전자 제품은 다양한 환경 조건에서 최적의 성능을 위해 광범위한 테스트를 거쳤습니다. Prober는 지속적인 사용을 위해 제작되었으며, 처리량이 최대인 24/7을 실행할 수 있습니다. 마지막으로, 프로버 (Prober) 는 다양한 유형의 어댑터와 완벽하게 호환되므로 시스템을 상향 또는 하향 확장하여 다양한 기판 크기를 충족할 수 있습니다. 결론적으로, 4020은 강력하고 신뢰할 수 있는 증거로, 복잡하고 까다로운 어플리케이션에서 뛰어난 결과를 제공하도록 설계되었습니다.