판매용 중고 RUCKER & KOLLS / R&K 680A #9112588
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ID: 9112588
웨이퍼 크기: 6"
Probe station, 6"
Ni-plated vacuum chuck
Automatic stepping
Motorized X-Y stage
Bausch & Lomb stereo zoom microscope with 10x W.F stereo eyepieces
115 V, 50/60 Hz, 150 W, 1-Ph
Bausch & lomb SZ-4 stereozoom
(10) eyepieces
Up to 30x total magnification
Extended stage allows additional space for probeheads/manipulators
Index steps can be set in english or metric.
Travel can be set to index, align or jog mode.
Indexing range: 0.0005 in. to 6 in. with 0.5 mil resolution.
RUCKER & KOLLS/R & K 680A 프로버는 반도체의 고장 분석 및 전기 테스트를 위해 설계된 매우 정확한 기기입니다. 정밀 웨이퍼 프로브 (precision wafer probing) 에서 결함 격리를위한 스티치 앤 다이/실패 분석 (stitch-and-die/failure analysis) 에 이르기까지 다양한 프로브 및 프로브 관련 작업을 수행 할 수 있습니다. R&K 680A는 웨이퍼 및 다이 레벨 프로브를위한 광학 강화, 간섭계 기반 변위 측정 장비를 중심으로 제작되었습니다. 이 설정을 사용하면 정확하고 반복 가능한 배치 정확도 (1.2äm 이하) 가 가능합니다. 이 프로버에는 웨이퍼 프로브 작업 외에도 전자 장치의 고정밀 테스트를 위해 설계된 "CTPA (Circular Three-Point Arrangement)" 테스트 시스템도 장착되어 있습니다. CTPA 장치는 3 점 접촉 배열을 사용하여 장치의 2 개의 결합 사이트 사이에서 경로와 단편을 찾습니다. RUCKER&KOLLS 680A는 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 표준 광학 헤드는 시각적 정렬을위한 3 개의 카메라와 2 차원 다이 레벨 프로브를위한 다중 채널 이미징 머신으로 구성됩니다. 또한, Prober에는 결함이 있는 장치를 찾는 데 도움이 되는 다중 모드 스캔 도구도 있습니다. 또한, 자산은 다양한 자동 처리 시스템과의 호환성을 위해 설계되었으며, 처리 및 프로브 (Probe) 를위한 장착 설비가 있습니다. 680A는 임피던스 측정, 고해상도, 왜곡 자유 조사, 빠른 다이 레벨 포인트 투 포인트 프로브 (Point-to-Point Probing) 와 같은 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 다용도 구성을 허용하며, 많은 수의 샘플을 처리 할 수 있습니다. 또한 RUCKER & KOLLS/R & K 680A는 매우 안정적이고 정확한 전문가이므로 다양한 고정밀 어플리케이션에 적합합니다.
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