판매용 중고 MICROMANIPULATOR PROBE STATION #293634835

MICROMANIPULATOR PROBE STATION은 반도체 장치의 종합적인 전기 특성에 사용되는 자동 프로 버 장비입니다. 수동 Probe의 편리성과 자동 테스트의 정확성을 결합합니다. 자동화 된 PROBE STATION에는 5 유도 이상의 위치 정밀도, Z축 변환 단계, XY 변환 단계 및 회전 단계를 갖춘 정밀 마이크로 미터가 포함되어 6도 자유 운동 제어를 제공합니다. 전문 소프트웨어 및 하드웨어 시스템을 사용하면 정확한 전기 측정과 함께 빠른 웨이퍼 교환 (wafer exchange) 및 정렬 (alignment) 을 수행할 수 있습니다. MICROMANIPULATOR PROBE STATION 시스템은 조사, 특성 및 테스트에서 뛰어난 유연성을 제공합니다. 3 개의 주요 구성 요소, 프로 버 및 2 개의 준비 영역 (전기 및 열 컨디셔닝) 으로 구성됩니다. 프로버는 테스트 룸마스 프로브 (roomasd probe) 를 테스트 중 웨이퍼에 정렬하고 연결하는 데 사용됩니다. 전기 준비 구역에는 전기 테스트를 수행하는 데 필요한 구성 요소가 포함되어 있으며, 열 조절 영역은 최대 300 ° C 의 고온 범위를 수용하도록 설계되었습니다. 프로버 스테이션에는 전기계, 전류 측정, 커패시턴스 미터 (capacitance meter) 등 다양한 추가 기능이 장착 될 수 있습니다. 이 기능은 정확한 전압 및 전류 측정이 필요한 복잡한 테스트 (complex test) 와 반도체 장치의 고장 분석 (failure analysis) 에 사용됩니다. 프로버 스테이션 (Prober Station) 에는 이러한 기본 구성 요소 외에도 다양한 액세서리와 업그레이드가 장착될 수 있습니다. 여기에는 전자 현미경, 자동 웨이퍼 매핑 장치, 자동 핸들러 및 지능형 광학 시스템이 포함됩니다. 자동화된 핸들러는 웨이퍼 교환 및 정렬을 돕는 반면, 전자 현미경은 테스트 중 웨이퍼 (wafer) 를 관찰 할 수 있습니다. 지능형 광학 기계는 장치에 대한 프로브 팁의 정밀 정렬에 사용됩니다. 프로브 스테이션 (PROBE STATION) 은 집적 회로의 전기 특성화를위한 신뢰할 수있는 자동 플랫폼을 형성하여 광범위한 측정, 상세한 검사 및 분석을 가능하게합니다. 다양한 반도체 애플리케이션에서 정확하고, 포괄적이며, 반복적으로 활용 가능한 결과를 얻을 수 있어 유연성이 뛰어납니다 (영문).