판매용 중고 MICROMANIPULATOR MM 9920 #9036111
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ID: 9036111
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Semi-automatic prober, 12"
Chuck, 12"
Tri-temperature option
Chiller
CDA, 100 psi
VAC, 25IN-Hg
H2O / Glycol, 2L, 6.1 LPM
60/40
Hard Disk Drive (HDD) missing
Power supply: 230 V, 50/60 Hz
2004 vintage.
MICROMANIPULATOR MM 9920은 반도체 제조에 사용되는 고정밀 자동 처리 장비입니다. 이 제품은 웨이퍼, 컴포넌트 및 기타 소형 서피스 마운트 장치를 정확하게 잘라내고, 배치하고, 정렬하고, 처리하도록 설계되었습니다. MM 9920은 선형, 고해상도 X-Y 모션 시스템과 작동하며 X-Y 평면에서 정밀도 위치 정확도는 1.0jm입니다. Z축에서 정밀 이동을 위해 닫힌 루프, 고강도 인코더 및 스테퍼 모터 제어를 사용합니다. MICROMANIPULATOR MM 9920은 가변 힘 기능으로 인해 다양한 크기, 모양, 무게, 재료를 가진 컴포넌트를 처리 할 수 있습니다. 힘 (force) 은 디지털 제어 소프트웨어를 사용하여 조정되며 이국적인 금속 (exotic metal) 이나 연약한 재료 (fragile material) 와 같은 섬세한 부품을 정확하게 처리하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 이 장치는 인덱싱 (X-Y 이동 및 회전), 컷/가위 동작, 픽 앤 플레이스 작업 등 여러 가지 표준 작동 기능으로 설계되었습니다. 이러한 기능은 칩 어셈블리 중에 기판에 컴포넌트를 정확하게 픽업, 정렬, 배치하는 기능을 제공합니다. 조작기는 미니 포지셔너 (X-Y 선형 모션 머신), 미세 포지셔너 (Z축), 디지털 힘 제어, 전동 액추에이터 및 비전 시스템과 같은 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 미니 포지셔너 (mini-positioner) 는 풀백 메커니즘을 사용하여 공기 노즐을 통해 포지셔너에 웨이퍼를 잠그고 X-Y 방향으로 정확한 선형 이동을 제공합니다. 동작기는 모션 프로그램이 실행될 때 컴포넌트를 이동하는 데 사용됩니다. 비전 도구 (vision tool) 를 통해 에셋이 기판의 피쳐를 검색, 인식하고, 프로세스에서 잘못된 정렬을 감지하여, 잘못된 어셈블리로 인해 스케줄링되지 않은 중단을 방지할 수 있습니다. MM 9920은 가혹한 산업 및 제조 환경을 위해 설계되었습니다. 고주파 진동 (Hi-Frequency Vibration) 과 충격 환경 (Shock Environment) 은 물론 온도 및 습도의 극한을 처리 할 수 있습니다. MICROMANIPULATOR MM 9920은 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 프로그래밍 할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 주어진 작업을 완료하는 데 필요한 작업 순서를 빠르고 정확하게 프로그래밍할 수 있습니다 (영문). 통신 포트를 통해 중앙 컴퓨터에 연결되어 제어, 모니터링, 데이터 로깅을 수행할 수 있습니다. 요약하면, MM 9920은 반도체 제조에서 웨이퍼, 컴포넌트 및 기타 소형 표면 실장 장치를 선택, 배치, 정렬 및 처리하는 데 사용되는 고정밀 자동 제어 모델입니다. 고해상도 X-Y 모션 장비, 디지털 포스 컨트롤, 비전 시스템, 전동 액추에이터 및 그래픽 사용자 인터페이스가 특징입니다. 정밀도, 정확성 등을 갖춘 혹독한 환경에서 작업을 수행할 수 있도록 설계되었습니다.
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