판매용 중고 MICROMANIPULATOR 9900 #9167747

MICROMANIPULATOR 9900은 집적 회로 웨이퍼를 조사하기 위해 설계된 고급 교정 장비입니다. 이 시스템은 40 미크론의 해상도로 조사 할 수 있으며 직경 50 ~ 800 밀리미터 범위의 다양한 IC 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 통합 폐쇄 루프 (closed-loop) 설계를 가지고 있으며 다른 기존 프로버 시스템과 인터페이스 할 수 있습니다. 프로버는 메인 프레임, 스테이지 및 제어 장치로 구성됩니다. 메인 프레임은 무거운 알루미늄으로 만들어졌으며 약 1.5m x 1.5m의 면적을 차지합니다. 여기에는 테스트 대상 웨이퍼의 안정적인 환경, 통합 프로브 포지셔닝 머신 (TTL computer-controlled 3 축 linear motion device) 으로 구성된 가압 스프룽 로딩 플랫폼 (pressurized sprung loading platform) 이 포함되어 있습니다. 이 플랫폼에는 4 위치 로딩 포트와 다양한 프로브 (Probe) 를 액세스하기위한 공구 체인저도 있습니다. 스테이지 (stage) 는 공구의 주요 이동 부분이며 웨이퍼 테스트를 위해 정확한 기울기 (tilt) 및 상승 (elevation) 동작을 허용하는 육각형 설계입니다. 70 x 70 x 8 mm 범위에서 정밀도 0.1 mm의 백래시 프리 서보 루프를 포함하며 최대 속도 15 mm/s가 가능합니다. 정밀도 수준은 IC 프로브에 적합하며 다양한 기판 유형을 수용 할 수도 있습니다. 9900의 제어 장치는 산업 PC 및 관련 프로그래밍 소프트웨어 제품군으로 구성됩니다. 이를 통해 사용자는 높은 수준의 정확도 조사를 위해 자산을 설정하고 보정할 수 있으며, 자동 테스트 루틴 (automated test routine) 을 만들 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 사용하기 쉽고, 프로브 배치 (Probe placement), 프로브 힘 (Probe Force), 방향 및 속도 제어, 웨이퍼 처리 등 다양한 매개변수에 대한 액세스를 제공합니다. 결론적으로 MICROMANIPULATOR 9900은 집적 회로 웨이퍼를 조사하기 위해 설계된 고급 프로버 모델입니다. 폐쇄 루프 제어 기능, 정밀도 0.1mm, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기 처리 기능, 사용하기 쉬운 인터페이스 등을 제공하여 IC 테스트 및 Probe에 적합합니다.